特許
J-GLOBAL ID：200903036379602592

搬送装置

発明者：
田所 昌宏

田所 昌宏 について


出願人/特許権者：
神鋼電機株式会社

神鋼電機株式会社 について


代理人 (1件)： 梶 良之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-305005
公開番号（公開出願番号）：特開2003-110000
出願日： 2001年10月01日
公開日（公表日）： 2003年04月11日
要約：
【要約】【課題】 処理室2内の搬入出距離が長い場合であっても、基板8を確実に載置台にセットする。【解決手段】 搬入室16に設けられ、取り付け位置にセットされた基板8を処理室2に搬送する第1コンベア24と、処理室2内における載置台7と搬入室16との間に設けられ、第1コンベア24から基板8を受け取って載置台7上に水平方向に搬送する第2コンベア9と、処理室2内における載置台7と搬出室38との間に設けられ、載置台7から押し出された基板8を受け取って前記搬出室38に搬送する第3コンベア10と、搬出室38に設けられ、第3コンベア10から基板8を受け取って取り出し位置に搬送する第4コンベア40とを有している。
請求項（抜粋）：
外部環境とは異なる処理環境に設定され、載置台の所定位置で処理を行う処理室と、該処理室に対して気密状態に開閉可能に連結された搬入室および搬出室とを有した処理装置に設けられる搬送装置において、前記搬入室に設けられ、取り付け位置にセットされた基板を処理室に搬送する第1コンベアと、前記処理室内における載置台と搬入室との間に設けられ、前記第1コンベアから基板を受け取って前記載置台上に水平方向に搬送する第2コンベアと、前記処理室内における載置台と搬出室との間に設けられ、前記載置台から押し出された基板を受け取って前記搬出室に搬送する第3コンベアと、前記搬出室に設けられ、前記第3コンベアから基板を受け取って取り出し位置に搬送する第4コンベアとを有することを特徴とする搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B65G 47/82 ,  B65G 49/07 ,  B65H 5/02
FI (4件)：
H01L 21/68 A ,  B65G 47/82 D ,  B65G 49/07 A ,  B65H 5/02 W
Fターム (20件)：
3F017AA02 ,  3F017BA12 ,  3F017BA16 ,  3F017BA17 ,  3F017BA22 ,  3F049AA02 ,  3F049DA01 ,  3F049DB05 ,  3F049EA22 ,  3F049LA15 ,  3F049LB07 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA51 ,  5F031GA53 ,  5F031NA05 ,  5F031PA03
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (16件)
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