特許
J-GLOBAL ID：200903037571418190
洗浄処理装置およびその制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-214119
公開番号（公開出願番号）：特開平8-102459
出願日： 1995年07月31日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【課題】 処理槽のトラブル時に処理中のウェハの救済を図ることが可能な処理装置およびその制御方法を提供する。【解決手段】 本発明によれば、薬液槽202においてトラブルが発生した場合には、異常時処理運転を行うことによりウェハの損傷を最小限に抑えることができる。第1の異常時処理では、処理中のウェハを自動的にその下流の水洗槽203、204に搬送し、純水中でウェハの保全を図る。また第2の異常時処理では、トラブルが発生した薬液槽の薬液を自動的に廃液し、槽内に純水を導入することにより、ウェハの保全を図る。
請求項（抜粋）：
被処理体が装置内に搬入されるローダ部と、被処理体が装置外に搬出されるアンローダ部とを備え、被処理体を同種の薬液により洗浄する1または2以上の薬液槽と、その薬液槽の下流に配置され被処理体を純水により洗浄する1または2以上の水洗槽とから成る1または2以上の洗浄ユニットが、前記ローダ部と前記アンローダ部との間に順次配列されるとともに、前記ローダ部と前記洗浄ユニット間、または隣接する前記各洗浄ユニット間、または前記洗浄ユニットと前記アンローダ部間において前記被処理体を搬送する1または2以上の搬送装置を備えた洗浄処理装置において、前記洗浄装置に異常検出センサを設け、前記各搬送装置が、その異常検出センサからの信号に応じて、処理中の被処理体をその下流の水洗槽に搬送することが可能な如く構成されていることを特徴とする、洗浄処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/04
