特許
J-GLOBAL ID：200903038214998184

固体撮像装置およびその製造方法

発明者：
千田 浩之

千田 浩之 について


出願人/特許権者：
松下電子工業株式会社

松下電子工業株式会社 について


代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-096321
公開番号（公開出願番号）：特開平11-045989
出願日： 1998年04月08日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 良好な密着性を保持しつつ、スミア特性の向上を図る。【解決手段】 フォトダイオード部と、前記フォトダイオード部からの電荷信号を転送する電荷転送部とを具備してなる固体撮像装置において、前記フォトダイオード部に開口を有し、前記電荷転送部を覆う遮光膜13が、チタンナイトライド層またはチタン層からなる下地密着層12を介して形成されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
フォトダイオード部と、前記フォトダイオード部からの電荷信号を転送する電荷転送部とを具備してなる固体撮像装置において、前記フォトダイオード部に開口を有し、前記電荷転送部を覆う遮光膜が、チタンナイトライド層またはチタン層のいずれかからなる下地密着層を介して形成されていることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
H01L 27/14 ,  H04N 5/335
FI (2件)：
H01L 27/14 D ,  H04N 5/335 F
引用特許：
審査官引用 (10件)
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