特許
J-GLOBAL ID：200903039463902592
感放射線性樹脂組成物
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-187223
公開番号（公開出願番号）：特開平11-024273
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】 各種の放射線に有効に感応し、解像性能に優れるとともに、特に孤立パターンの焦点深度にも優れ、多様な高精度の微細パターンを安定して形成することができる化学増幅型ポジ型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)m-ヒドロキシ(α-メチル)スチレン単位と(メタ)アクリル酸t-ブチル単位とを含有し、(メタ)アクリル酸t-ブチル単位の含有率が該単位とm-ヒドロキシ(α-メチル)スチレン単位との合計に対して5〜50モル%の範囲にある共重合体、および(B)感放射線性酸発生剤を含有する。
請求項（抜粋）：
(A)下記式(1)で表される繰返し単位(1)と下記式(2)で表される繰返し単位(2)とを有し、共重合体中の繰返し単位(2)の含有率が繰返し単位(1)と繰返し単位(2)との合計に対して5〜50モル%の範囲にある共重合体、および(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】(式中、R1 は水素原子またはメチル基を示す。)【化2】(式中、R2 は水素原子またはメチル基を示す。)
IPC (5件)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, G03F 7/033
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 503 A
, G03F 7/029
, G03F 7/033
, H01L 21/30 502 R
