電子顕微鏡の蛍光電子線装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西脇民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-305083
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162062
出願日： 1994年12月08日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】試料から発生したた紫外域の蛍光、赤外域の蛍光に基づく蛍光像を、可視域の蛍光に基づくカラー蛍光像と共に同一画面で認識可能の電子顕微鏡の蛍光電子線装置を提供する。【構成】この発明の電子顕微鏡の蛍光電子線装置は、荷電粒子としての探針を走査させながら試料3に照射する照射部1と、試料3の荷電粒子が照射された箇所から発生する可視域の蛍光と可視外域の蛍光とを受光する受光部と、試料3に対する探針の相対位置と受光部からの受光信号とに基づき、可視域の蛍光像と可視外域の蛍光像とを表示する表示部12とを有する。

請求項（抜粋）：

荷電粒子としての探針を走査させながら試料に照射する照射部と、前記試料の荷電粒子が照射された箇所から発生する可視域の蛍光と可視外域の蛍光とを受光する受光部と、前記試料に対する前記探針の相対位置と前記受光部からの受光信号とに基づき、前記可視域の蛍光像と前記可視外域の蛍光像とを識別可能に表示する表示部とを有することを特徴とする電子顕微鏡の蛍光電子線装置。

IPC (4件)：

H01J 37/244 , G01J 3/51 , H01J 37/22 502 , H01J 37/22

引用特許：

審査官引用 (10件)

紫外線顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-114922 出願人：オリンパス光学工業株式会社
近赤外レーザー照射光モニター装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-105639 出願人：長澤明範, 加藤一一
形態観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-130966 出願人：株式会社トプコン

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