特許
J-GLOBAL ID：200903039797555605

基板移載装置及び基板移載方法並びに記憶媒体

発明者：
阿部 洋

阿部 洋 について

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小原 美鶴

小原 美鶴 について

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阿部 任弘

阿部 任弘 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-077530
公開番号（公開出願番号）：特開2008-235841
出願日： 2007年03月23日
公開日（公表日）： 2008年10月02日
要約：
【課題】複数の基板が棚状に保持される保持具から保持アームにより基板を取り出すときに、この保持アームと基板との接触を防止すること。【解決手段】検査ユニット6に、水平な光軸Lを形成する光センサ62を、ウエハ搬送機構4の搬送基体5に対して相対的に昇降させたときに、フォーク41の周端面が前記光軸Lを横切る位置に設ける。キャリアCからウエハWを取り出す前に、前記フォーク41を検査ユニット61に挿入し、搬送基体5を光センサ62に対して相対的に昇降させて、前記光センサ62からの受光ー非受光の検出結果を取得する。この検出結果と、前記搬送基体5の高さ位置とに基づいて、前記フォーク41の水平面に対する姿勢が正常であるか否かを判断し、フォーク41の姿勢が異常であると判断されたときに、前記キャリアCから次のウエハWの取り出しを行う前に前記ウエハ搬送機構4を停止する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
搬送基体に略水平な保持アームを進退自在に設けて構成した基板搬送手段を用い、複数の基板が棚状に保持される保持具から基板を取り出す基板移載装置において、 水平な光軸を形成し、前記搬送基体に対して相対的に昇降させたときに、保持アームの周端面が前記光軸を横切る位置に設けられた光センサと、 前記搬送基体を前記光センサに対して相対的に昇降させる昇降手段と、 前記光軸に対する前記搬送基体の高さ位置を検出する高さ位置検出手段と、 前記保持アームが基板を保持していない状態で、搬送基体を光センサに対して相対的に昇降させることにより取得した前記光センサからの受光ー非受光の検出結果と、前記搬送基体の高さ位置とに基づいて、前記保持アームの水平面に対する前後の姿勢が正常であるか否かを判断する判断手段と、 この判断手段により保持アームの姿勢が異常であると判断されたときに、前記保持具から次の基板の取り出しを行う前に前記基板搬送手段を停止するように制御する手段とを備えたことを特徴とする基板移載装置。
IPC (1件)：
H01L 21/677
FI (1件)：
H01L21/68 A
Fターム (25件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA03 ,  5F031GA36 ,  5F031GA45 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031HA61 ,  5F031JA02 ,  5F031JA13 ,  5F031JA19 ,  5F031JA22 ,  5F031JA25 ,  5F031JA27 ,  5F031JA51 ,  5F031MA28 ,  5F031MA30 ,  5F031NA02 ,  5F031PA20
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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