特許
J-GLOBAL ID：200903039839625358
ガス測定装置及びガス測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-102346
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292392
出願日： 1999年04月09日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 混合ガス中に含まれる微量成分ガスを高精度で測定する。【解決手段】 カオス性を有する電圧をヒータコイル12Bに印加することにより、n型半導体12Aの表面温度にゆらぎが生じ、そのゆらぎに対応したガス種、濃度に固有の吸脱着反応が起こるので、半導体ガスセンサ12からの出力電圧VRLはカオス性を備える。カオスか否かをスペクトル解析、自己相関解析、リアプノフ指数解析で確認し、混合ガス中のカオスアトラクタの特徴量を抽出して、ニューラルネットワークでガス種及びそのガス濃度値を演算する。カオスアトラクタは、混合ガス中の成分ガスのガス種及びその濃度値に応じて異なる形状、大きさを有し、かつ、カオスは初期条件のわずかな差異を鋭敏に反映する初期鋭敏性を有するので、ガス雰囲気の極微少な違いを増幅させ、混合ガス中の成分ガスのガス種及び濃度値を正確に演算することができる。
請求項（抜粋）：
混合ガス中の成分ガス濃度を測定するガス測定装置において、電圧が印加されるヒータと、該ヒータにより前記混合ガス中の成分ガスの吸脱着、酸化反応が起す電荷授受により導電率が変化する半導体と、を有する半導体ガスセンサと、前記半導体の導電率を電圧として計測する計測手段と、前記計測手段により計測される電圧の時系列値がカオス性を有するように、前記ヒータ及び前記半導体の少なくとも一方に所定電圧を印加するカオス電圧印加手段と、前記計測手段により計測された電圧の時系列値に基づいて再構成されたアトラクタの特徴量を演算し、該演算された特徴量に基づいて前記混合ガス中の成分ガス濃度を求める演算手段と、を備えたガス測定装置。
Fターム (24件)：
2G046AA01
, 2G046AA04
, 2G046AA05
, 2G046AA11
, 2G046AA18
, 2G046AA24
, 2G046BA02
, 2G046BB02
, 2G046BC04
, 2G046BC08
, 2G046BE05
, 2G046BE07
, 2G046BF05
, 2G046DB05
, 2G046DC13
, 2G046DC15
, 2G046DC16
, 2G046DC17
, 2G046DC18
, 2G046DD01
, 2G046EB01
, 2G046FB02
, 2G046FE39
, 2G046FE48
