特許
J-GLOBAL ID:200903040003315875
フィルター組立体
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
苗村 正
, 住友 慎太郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-240934
公開番号(公開出願番号):特開2004-074086
出願日: 2002年08月21日
公開日(公表日): 2004年03月11日
要約:
【課題】半導体製造ガスの濾過などに用いうる精密濾過用として好適に採用しうるフィルター組立体を提供する。【解決手段】被処理流体の導入口と導出口とを設けたベース部材、該ベース部材に固定され、かつ導入口からの前記被処理流体が導出口から流出する間に該被処理流体を濾過するフィルター部材、及び該フィルター部材を囲んで前記ベース部材に結合されるカップ状のハウジング部材を具え、前記フィルター部材は、ハウジング部材とベース部材との加熱結合した際の冷却に伴なう熱収縮によって、ベース部材のフィルター取付面に強圧されてなることを特徴とするフィルター組立体である。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
被処理流体の導入口と導出口とを設けたベース部材、該ベース部材に固定され、かつ導入口からの前記被処理流体が導出口から流出する間に該被処理流体を濾過するフィルター部材、及び該フィルター部材を囲んで前記ベース部材に結合されるカップ状のハウジング部材を具え、
前記フィルター部材は、ハウジング部材とベース部材との加熱結合した際の冷却に伴なう熱収縮によって、ベース部材のフィルター取付面に強圧されてなることを特徴とするフィルター組立体。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (8件):
4D058JA02
, 4D058JB03
, 4D058JB28
, 4D058JB39
, 4D058JB41
, 4D058KA23
, 4D058KA27
, 4D058SA20
引用特許:
前のページに戻る