特許
J-GLOBAL ID:200903040493542238
パターン形成方法、パターン形成用シート、およびそれを用いて形成される光学機能性シート
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小川 信一
, 野口 賢照
, 斎下 和彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-212048
公開番号(公開出願番号):特開2007-069604
出願日: 2006年08月03日
公開日(公表日): 2007年03月22日
要約:
【課題】簡単で安価に基材上の機能材料をパターニングするためのパターン形成方法、およびパターン形成用シートを提供すること。また、本パターニング方法を用いて光学機能性シートを提供すること。【解決手段】基材層と、該基材層の片側または両側に表面層を形成した積層体に、金型転写することによって表面層をパターニングするパターン形成方法であって、以下の(A)、(B)の要件を満たすことを特徴とするパターン形成方法。(A)該表面層は、少なくとも金属微粒子、もしくは表面を金属によって被覆された金属被覆微粒子を含むこと。(B)該金型は、金型凸部高さHが表面層膜厚Lより大きく、かつ金型凹部断面積S2が表面層断面積S1より大きい表面形状を有し、積層体の表面層に押しあて金型凸部により表面層を貫通させること。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基材層と、該基材層の片側または両側に表面層を形成した積層体に、金型転写することによって表面層をパターニングするパターン形成方法であって、以下の(A)、(B)の要件を満たすことを特徴とするパターン形成方法。
(A)該表面層は、少なくとも金属微粒子、もしくは表面を金属によって被覆された金属被覆微粒子を含むこと。
(B)該金型は、金型凸部高さHが表面層膜厚Lより大きく、かつ金型凹部断面積S2が表面層断面積S1より大きい表面形状を有し、積層体の表面層に押しあて金型凸部により表面層を貫通させること。
IPC (3件):
B29C 59/02
, G02B 5/30
, H01L 21/027
FI (3件):
B29C59/02 Z
, G02B5/30
, H01L21/30 502D
Fターム (23件):
2H042BA04
, 2H042BA15
, 2H042BA20
, 2H049BA02
, 2H049BA05
, 2H049BA45
, 2H049BB41
, 2H049BC08
, 2H049BC22
, 4F209AG01
, 4F209AG03
, 4F209AG05
, 4F209AH73
, 4F209AH75
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC05
, 4F209PC06
, 4F209PC07
, 4F209PC08
, 4F209PN06
, 4F209PN09
, 5F046AA28
引用特許: