特許
J-GLOBAL ID：200903040860421868

複合荷電粒子ビーム装置

発明者：
高橋 春男

高橋 春男 について

, 
山本 洋

山本 洋 について

, 
藤井 利昭

藤井 利昭 について


出願人/特許権者：
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 について


代理人 (1件)： 松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-355734
公開番号（公開出願番号）：特開2007-164992
出願日： 2005年12月09日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：
【課題】気体イオンビーム装置とFIBとSEMを用いて、効率よくTEM試料作製ができる複合荷電粒子ビーム装置としての構成方法を提供する。【解決手段】FIB鏡筒1と、SEM鏡筒2と、気体イオンビーム鏡筒3と、ユーセントリックチルト機構とユーセントリックチルト軸8と直交する回転軸10とを持つ回転試料ステージ9と、を含む複合荷電粒子ビーム装置であり、集束イオンビーム4と電子ビーム5と気体イオンビーム6とは、1点で交わり、かつFIB鏡筒1の軸とSEM鏡筒2の軸はそれぞれユーセントリックチルト軸8と直交し、かつFIB鏡筒1の軸と気体イオンビーム鏡筒3の軸とユーセントリックチルト軸8とは一つの平面内にあるように配置する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
少なくとも、集束イオンビーム装置と、走査電子顕微鏡と、気体イオンビーム装置と、試料ステージとを備えた複合荷電粒子ビーム装置であり、 前記試料ステージは、少なくとも試料を同一高さで傾斜させるためのユーセントリックチルト機構と、前記ユーセントリックチルト機構の軸であるユーセントリックチルト軸と直交する試料ステージ回転軸とを有し、 前記集束イオンビーム装置と前記走査電子顕微鏡と前記気体イオンビーム装置とは、前記集束イオンビーム装置から照射される集束イオンビームと、前記走査電子顕微鏡から照射される電子ビームと、前記気体イオンビーム装置から照射される気体イオンビームとが、1点と見なせる領域で交わるよう配置及び調整され、かつ前記集束イオンビーム装置の鏡筒の軸と前記電子顕微鏡の鏡筒の軸はそれぞれ前記ユーセントリックチルト軸と実質的に直交し、かつ前記集束イオンビームの鏡筒の軸と前記気体イオンビームの鏡筒の軸と前記ユーセントリックチルト軸とは一つの平面内にあると見なせるように配置されることを特徴とする、複合荷電粒子ビーム装置。
IPC (7件)：
H01J 37/28 ,  H01J 37/30 ,  H01J 37/317 ,  H01J 37/20 ,  G01N 1/32 ,  G01N 1/28 ,  G01N 23/225
FI (7件)：
H01J37/28 B ,  H01J37/30 Z ,  H01J37/317 D ,  H01J37/20 A ,  G01N1/32 B ,  G01N1/28 G ,  G01N23/225
Fターム (35件)：
2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA10 ,  2G001AA20 ,  2G001BA07 ,  2G001BA11 ,  2G001CA03 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA09 ,  2G001HA13 ,  2G001JA12 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  2G001PA15 ,  2G001QA01 ,  2G001RA04 ,  2G001RA20 ,  2G052AA13 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052EC14 ,  2G052EC16 ,  2G052GA34 ,  5C001AA01 ,  5C001AA05 ,  5C001AA06 ,  5C001CC08 ,  5C033UU03 ,  5C033UU10 ,  5C034AA02 ,  5C034AA09 ,  5C034DD09
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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