カーボンナノウォールの処理方法、カーボンナノウォール、カーボンナノウォールデバイス

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：大川宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-093283
公開番号（公開出願番号）：特開2006-272491
出願日： 2005年03月28日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【課題】ナノスケールを有する新規なカーボン構造物であるカーボンナノウォールの処理方法、カーボンナノウォール、カーボンナノウォールデバイスを提供する。【解決手段】カーボンナノウォール(CNW)に対して形状処理を行う。形状処理としてはプラズマエッチング等のドライエッチング処理を採用できる。カーボンナノウォールを構成するグラフェンシートの少なくも先端部の厚みを根元部の厚みよりも減少させることが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

カーボンナノウォールに対して形状処理を行うことを特徴とするカーボンナノウォールの処理方法。

IPC (7件)：

B82B 1/00 , C01B 31/02 , H01L 29/06 , H01L 27/108 , H01L 21/824 , H01L 29/786 , H01L 29/80

FI (6件)：

B82B1/00 , C01B31/02 101F , H01L29/06 601N , H01L27/10 621B , H01L29/78 618B , H01L29/80 V

Fターム (48件)：

4G146AA07 , 4G146AD28 , 4G146BA11 , 4G146BA12 , 4G146BC09 , 4G146CB15 , 4G146CB16 , 5C135AA15 , 5C135AB05 , 5C135AC03 , 5C135AC04 , 5C135HH02 , 5C135HH16 , 5F083AD56 , 5F083JA02 , 5F083JA06 , 5F083JA15 , 5F083JA17 , 5F083JA20 , 5F083JA36 , 5F083JA37 , 5F083JA38 , 5F083JA39 , 5F083JA40 , 5F083JA43 , 5F083PR23 , 5F102FB01 , 5F102GB04 , 5F102GD04 , 5F102GJ03 , 5F102GJ10 , 5F102GL00 , 5F102HC15 , 5F110AA16 , 5F110CC02 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD05 , 5F110FF02 , 5F110GG01 , 5F110GG19 , 5F110GG22 , 5F110GG25 , 5F110GG32 , 5F110GG45 , 5F110GG55 , 5F110HJ01 , 5F110QQ04

引用特許：

出願人引用 (5件)

カーボンナノチューブおよびその製造方法、電子源およびその製造方法、並びに、表示装置
公報種別：再公表公報出願番号：JP2001001326 出願人：シャープ株式会社
フィールド・エミッタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-190659 出願人：ジスーン・イーム
ナノチューブの目標蒸着法および電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-113542 出願人：インフィネオンテクノロジーズアクチエンゲゼルシャフト

全件表示

審査官引用 (5件)

電子放出体及びその製造方法、冷陰極電界電子放出素子及びその製造方法、並びに、冷陰極電界電子放出表示装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-208625 出願人：ソニー株式会社
電子放出素子及び電子放出源とそれらの製造方法並びにそれらを使用した画像表示装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-173309 出願人：松下電器産業株式会社
プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-301366 出願人：後藤俊夫, 堀勝, 東京エレクトロン株式会社

全件表示

引用文献：

審査官引用 (3件)

前のページに戻る