特許
J-GLOBAL ID：200903024343819821

微細構造体の製造方法および微細構造体、ならびに記録装置の製造方法および記録装置

発明者：
ダラム パル ゴサイン

ダラム パル ゴサイン について

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梶浦 尚志

梶浦 尚志 について

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丸山 竜一郎

丸山 竜一郎 について

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白石 誠司

白石 誠司 について

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黄 厚金

黄 厚金 について

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角野 宏治

角野 宏治 について

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和智 滋明

和智 滋明 について

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阿多 誠文

阿多 誠文 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-294398
公開番号（公開出願番号）：特開2005-059167
出願日： 2003年08月18日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：
【課題】 カーボンナノチューブなどの成長部をより微細な間隔で規則正しく配列させることができる微細構造体の製造方法を提供する。【解決手段】 基板11に、触媒配置のための核として溝12を形成する。次に、基板11に、触媒物質14、例えば鉄(Fe)を付着させる。続いて、基板11に熱処理を行うことにより触媒物質14を溶融させて溝12に凝集させる。溝12により触媒物質14を確実に所望の位置に配置することができる。そののち、溝12にカーボンナノチューブを成長させる。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
基板に触媒配置のための核を形成する核形成工程と、 前記基板に触媒機能を有する物質を付着させる付着工程と、 前記基板に熱処理を行うことにより前記触媒機能を有する物質を溶融させて前記核に凝集させる凝集工程と、 前記触媒機能を有する物質を用いて前記核に成長部を形成する成長工程と を含むことを特徴とする微細構造体の製造方法。
IPC (4件)：
B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  G11B5/65 ,  G11B5/855
FI (4件)：
B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  G11B5/65 ,  G11B5/855
Fターム (22件)：
4G146AA11 ,  4G146AD23 ,  4G146AD28 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BB23 ,  4G146BC09 ,  4G146BC33B ,  4G146BC37B ,  4G146BC42 ,  4G146BC43 ,  4G146BC46 ,  5D006BB09 ,  5D112AA03 ,  5D112AA16 ,  5D112AA18 ,  5D112BD02 ,  5D112FA01 ,  5D112FA09 ,  5D112GA02 ,  5D112GA09 ,  5D112GB01
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (11件)
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引用文献：
審査官引用 (3件)

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