特許
J-GLOBAL ID：200903042065391457
リソグラフィ装置、デバイス製造方法、および照射コレクタの使用
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森下 賢樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-283977
公開番号（公開出願番号）：特開2007-123874
出願日： 2006年10月18日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】比較的簡単な方法で、コレクタ汚染物を除去可能なリソグラフィ装置を提供する。【解決手段】照射源から照射線を受け取り、その照射線を照明系に伝送するように構成されたコレクタを備えるリソグラフィ装置を提供する。コレクタには、少なくとも一つの流体ダクトが設けられている。リソグラフィ装置は、コレクタの流体ダクトを使用してコレクタを熱調整する温度調整器を有する。温度調整器は、第1期間の間に第1流体を流体ダクトに供給し、少なくとも第2期間の間、第2流体を流体ダクトに供給するように構成されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
照射源から照射を受け取り照射を照明系に伝送するように構成され、少なくとも一つの流体ダクトが設けられたコレクタと、
前記コレクタの流体ダクトを使用して該コレクタの熱調整をする温度調整器であって、第1期間の間は第1流体を前記流体ダクトに供給し、少なくとも第2期間の間は第2流体を前記流体ダクトに供給するように構成された温度調整器と、
を備えることを特徴とするリソグラフィ装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 515D
, H01L21/30 516F
, G03F7/20 521
5F046AA22
, 5F046BA03
, 5F046CB02
, 5F046CB13
, 5F046CB22
, 5F046CB23
, 5F046DA01
, 5F046DA26
, 5F046DA27
, 5F046DB02
, 5F046DB03
, 5F046DB10
, 5F046DC02
, 5F046GA09
, 5F046GA14
, 5F046GB01
, 5F046GC03
