特許
J-GLOBAL ID：200903042154192557

複合型荷電粒子ビーム装置

発明者：
小川 貴志

小川 貴志 について

, 
大井 將道

大井 將道 について

, 
小山 喜弘

小山 喜弘 について


出願人/特許権者：
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 について


代理人 (1件)： 松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-367445
公開番号（公開出願番号）：特開2005-135611
出願日： 2003年10月28日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、互いに異なる電荷を有する二次イオンと二次電子を検出するための引き込み電界が相手に及ぼす影響をバランスさせ、両方の検出器において必要な検出信号が得られる複合型荷電粒子ビーム装置を提供することにある。【解決手段】 本発明の複合型荷電粒子ビーム装置は、二次イオン検出器2と二次電子検出器1を併設する複合型荷電粒子ビーム装置であって、二次イオン検出器2と二次電子検出器1の信号を同時にバランスよく得られるように二次イオン検出器2と二次電子検出器1の検出信号レベルを検知する手段と、二次イオン検出器2と二次電子検出器1の引き込み電極3n、3pには印加電圧可変手段6が設けられると共に、前記検出信号レベルに基づいて印加電圧可変手段6を制御する手段とを備えるものとした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
二次イオン検出器と二次電子検出器を併設する複合型荷電粒子ビーム装置であって、前記二次イオン検出器と二次電子検出器の検出信号レベルを検知する手段と、前記二次イオン検出器及び二次電子検出器の引き込み電極と試料表面間には電界調整手段が設けられると共に、前記検出信号レベルに基づいて前記電界調整手段を制御する手段とを備え、前記二次イオン検出器と二次電子検出器と試料表面間の電界を調整して両検出信号を同時にバランスよく得られるようにしたことを特徴とする複合型荷電粒子ビーム装置。
IPC (5件)：
H01J37/244 ,  G21K5/04 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317
FI (6件)：
H01J37/244 ,  G21K5/04 A ,  G21K5/04 M ,  H01J37/20 D ,  H01J37/28 B ,  H01J37/317 D
Fターム (14件)：
2G088EE30 ,  2G088FF10 ,  2G088GG09 ,  2G088GG28 ,  5C001BB07 ,  5C001CC03 ,  5C001CC04 ,  5C033NN01 ,  5C033NN05 ,  5C033NP06 ,  5C033UU00 ,  5C033UU04 ,  5C033UU06 ,  5C034DD05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (16件)
  • 特開昭61-232544
  • 特開昭61-232544
  • 加工観察装置及び試料加工方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-264122   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
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