特許
J-GLOBAL ID：200903042331488666

ナノインプリント用硬化性樹脂組成物

発明者：
三宅 弘人

三宅 弘人 について


出願人/特許権者：
ダイセル化学工業株式会社

ダイセル化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 後藤 幸久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-071547
公開番号（公開出願番号）：特開2008-266608
出願日： 2008年03月19日
公開日（公表日）： 2008年11月06日
要約：
【課題】 微細なパターンを高い精度で効率よく安定して形成することができるナノインプリント用樹脂組成物及びその硬化物を提供する。【解決手段】 本発明のナノインプリント用光硬化性樹脂組成物は、カチオン重合性化合物とラジカル重合性化合物との組合せ、又はカチオン重合性とラジカル重合性を有する異種重合性化合物を含むことを特徴としている。前記カチオン重合性化合物としては、例えば、環状エーテル化合物、ビニルエーテル化合物、及びカーボネート系化合物等を利用できる。本発明の微細構造物の製造方法は、好ましくは、(1)本発明の樹脂組成物からなる被膜を支持体上に形成する工程、(2)前記被膜にナノスタンパを用いてパターンを転写する工程、及び(3)パターンが転写された被膜を硬化させて微細構造物を得る工程を含む。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
カチオン重合性化合物とラジカル重合性化合物との組合せ及び/又はカチオン重合性とラジカル重合性を有する異種重合性化合物を含むナノインプリント用光硬化性樹脂組成物。
IPC (5件)：
C08G 59/20 ,  C08L 63/00 ,  C08K 3/00 ,  C08G 65/06 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
C08G59/20 ,  C08L63/00 C ,  C08K3/00 ,  C08G65/06 ,  H01L21/30 502R ,  H01L21/30 502D
Fターム (52件)：
4J002BC02X ,  4J002BG04X ,  4J002BG05X ,  4J002BG06X ,  4J002BG07X ,  4J002CD02W ,  4J002CG00W ,  4J002CH02W ,  4J002CH03W ,  4J002DD056 ,  4J002DD076 ,  4J002DD086 ,  4J002DE086 ,  4J002DE096 ,  4J002DE106 ,  4J002DE136 ,  4J002DE146 ,  4J002DE156 ,  4J002DE186 ,  4J002DE226 ,  4J002DE236 ,  4J002DE246 ,  4J002DF016 ,  4J002DG026 ,  4J002DG046 ,  4J002DG066 ,  4J002DH006 ,  4J002DH046 ,  4J002DJ016 ,  4J002DK006 ,  4J002DL006 ,  4J002EG026 ,  4J002EG046 ,  4J002FA086 ,  4J002FB086 ,  4J002FD016 ,  4J002GP03 ,  4J005AA04 ,  4J005AA07 ,  4J005BA00 ,  4J005BB02 ,  4J036AJ09 ,  4J036EA03 ,  4J036EA04 ,  4J036GA06 ,  4J036GA22 ,  4J036GA23 ,  4J036GA24 ,  4J036GA26 ,  4J036HA02 ,  4J036JA09 ,  5F046AA28
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (7件)
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