特許
J-GLOBAL ID：200903042557688293

感光性樹脂組成物及び物品

発明者：
坂寄 勝哉

坂寄 勝哉 について

, 
福田 俊治

福田 俊治 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (2件)： 岸本 達人 ,  山下 昭彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-288745
公開番号（公開出願番号）：特開2007-101685
出願日： 2005年09月30日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：
【課題】高分子前駆体、特にポリイミド前駆体の種類を問わず大きな溶解性コントラストを得られ、結果的に、十分なプロセスマージンを保ちつつ、形状が良好なパターンを得ることができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】光脱炭酸をするカルボン酸とアミンとの塩と、高分子前駆体を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。上記の塩の一つとして下記式(1)で表される芳香族成分含有カルボン酸とアミンとの塩が挙げられる。(式中、R1〜R10は、それぞれ独立に水素又は1価の有機基である。)【選択図】なし
請求項（抜粋）：
光脱炭酸をするカルボン酸とアミンとの塩と、高分子前駆体を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/037 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F7/004 501 ,  G03F7/037 501 ,  H01L21/30 502R
Fターム (18件)：
2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AA20 ,  2H025AB13 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BH01 ,  2H025BH03 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB43 ,  2H025CB48 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29
引用特許：
審査官引用 (7件)
全件表示
引用文献：
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM