特許
J-GLOBAL ID：200903042662121444

基板保持装置、ステージ装置及び露光装置

発明者：
高岩 宏明

高岩 宏明 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-174934
公開番号（公開出願番号）：特開2005-012009
出願日： 2003年06月19日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：
【課題】軽量化が実現され、基板を高い平坦度で保持可能な基板保持装置を提供する。【解決手段】基板を保持する基板ホルダPHは、基板を保持する保持面7A、8Aを有する本体部1を備えている。本体部1のうち保持面7A、8Aとは反対側の面3に凹部4が形成され、凹部4にはリブ部5が設けられている。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基板を保持する基板保持装置において、 前記基板を保持する保持面を有する本体部を備え、 前記本体部のうち前記保持面とは反対側の面に凹部を形成するとともに、前記凹部にリブ部を設けたことを特徴とする基板保持装置。
IPC (3件)：
H01L21/68 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027
FI (4件)：
H01L21/68 P ,  H01L21/68 K ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 503C
Fターム (18件)：
5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA08 ,  5F031HA13 ,  5F031HA33 ,  5F031HA50 ,  5F031HA56 ,  5F031MA27 ,  5F031PA07 ,  5F031PA09 ,  5F031PA21 ,  5F031PA30 ,  5F046CC01 ,  5F046CC08 ,  5F046CC11 ,  5F046CC15 ,  5F046CC17
引用特許：
審査官引用 (7件)
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