特許
J-GLOBAL ID：200903084293287575

基板の搬送装置、基板の保持装置、及び基板処理装置

発明者：
水谷 真士

水谷 真士 について

, 
鳴嶋 弘明

鳴嶋 弘明 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-265343
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100895
出願日： 1998年09月18日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】 円形基板、矩形基板が大型化しても安定で平坦性を損なわない吸着保持を可能とした保持装置と、それを使った搬送装置と処理装置とを得る。【解決手段】 基板をほぼ全面で吸着保持する基板ホルダの中央に、複数本のスポーク状の載置部が放射方向に延びたセンターアップ部材が上下動するためのスポーク状(花弁型)貫通穴又は窪みを設けることで、基板ホルダの載置面で基板を吸着する際の平坦性の劣化が損なわれないようにする。
請求項（抜粋）：
処理すべき基板とほぼ相似形の載置面を有し、該載置面上で基板を支持する第1保持部材と、基板を前記第1保持部材の載置面の上側空間に保持するために、基板の搬送時には前記第1保持部材の載置面の一部から突出して基板の裏面を保持する第2保持部材と、基板を所定の待機位置から前記第1保持部材の載置面上へ搬送したり、或いは前記載置面上の基板を所定の搬出位置へ搬送するために、前記待機位置と前記搬出位置の少なくとも一方と前記第1保持部材の上側空間との間で基板を移動させる搬送用アーム部材とを備えた搬送装置において、前記第2保持部材を、前記第1保持部材の載置面のほぼ中央部から放射方向に延びるように配置される複数のスポーク状載置部で構成し、前記第1保持部材の載置面には前記複数のスポーク状載置部が沈み込むための放射状の貫通部もしくは窪み部を形成したことを特徴とする基板の搬送装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 P ,  H01L 21/30 502 J
Fターム (22件)：
5F031AA10 ,  5F031FF01 ,  5F031GG12 ,  5F031KK04 ,  5F031KK06 ,  5F046AA17 ,  5F046BA01 ,  5F046BA02 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC05 ,  5F046CC06 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046CD01 ,  5F046DA07 ,  5F046DB05 ,  5F046DC11 ,  5F046FC08
引用特許：
審査官引用 (13件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-222904   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • 特開昭63-142829
  • 特開平4-256335
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