特許
J-GLOBAL ID：200903042928771628

定量位相顕微鏡

発明者：
池田 貴裕

池田 貴裕 について


出願人/特許権者：
学校法人光産業創成大学院大学

学校法人光産業創成大学院大学 について


代理人 (1件)： 西村 竜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-140703
公開番号（公開出願番号）：特開2008-292939
出願日： 2007年05月28日
公開日（公表日）： 2008年12月04日
要約：
【課題】光利用効率が高く、外乱に対して強く、光量調節を容易に行え、波長に応じて専用の空間フィルタ43を用いる必要がなく、測定試料Sの厚みなどの定量的な測定を高い測定精度で行うことが可能な定量位相顕微鏡Aを提供する。【解決手段】測定試料Sに関する位相情報を含む被測定光H1を、収束光H2に変換する集光レンズ42と、集光レンズ42の入射側に配されてなり、被測定光H1を偏光方向が互いに異なる2つの光H1a、H1bに分離する偏光分離素子41と、入射して来る前記2つの光H1a、H1bを、前記位相情報を保持したままの物体光H3として出射、及び、前記位相情報を含まない参照光H4に変換してそれぞれ出射する開口431及びピンホール432と、ピンホール432の出射側に設けられ、前記物体光H3及び参照光H4の偏光方向を揃える半波長板44と、前記半波長板44により偏光方向を揃えられた物体光H3と参照光H4とを重ね合わせて干渉縞を生成する合成レンズ45と、を具備するようにした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
測定試料に照射光を照射することにより生じた、前記測定試料に関する位相情報を含む被測定光を、収束光に変換する収束光学部と、 前記収束光学部の入射側若しくは出射側又は前記収束光の収束位置までの間に配されてなり、前記被測定光又は前記収束光を偏光方向が互いに異なる2つの光に分離する第1の光学素子と、 前記収束光の収束位置に配されてなり、入射して来る前記2つの光を、前記位相情報を保持したままの物体光として出射、及び、前記位相情報を含まない参照光に変換してそれぞれ出射する物体光出射部及び参照光出射部と、 前記各光出射部の少なくとも一方の出射側に設けられ、前記物体光及び参照光の偏光方向を揃える第2の光学素子と、 前記第2の光学素子により偏光方向を揃えられた物体光と参照光とを重ね合わせて干渉縞を生成する干渉縞生成部と、を具備する定量位相顕微鏡。
IPC (2件)：
G02B 21/00 ,  G02F 1/13
FI (2件)：
G02B21/00 ,  G02F1/13 505
Fターム (12件)：
2H052AA01 ,  2H052AA04 ,  2H052AB24 ,  2H052AB26 ,  2H052AC01 ,  2H088EA22 ,  2H088EA37 ,  2H088EA47 ,  2H088HA15 ,  2H088HA18 ,  2H088HA24 ,  2H088MA20
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 微分干渉顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-194889   出願人：株式会社ニコン
  • 干渉計
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-311353   出願人：ソニー株式会社
審査官引用 (7件)
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