特許
J-GLOBAL ID：200903043105387268

基板ホルダー部および成膜装置

発明者：
浅野 雅朗

浅野 雅朗 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-092282
公開番号（公開出願番号）：特開2007-262539
出願日： 2006年03月29日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：
【課題】 処理基板を鉛直方向に立てた状態で保持する基板ホルダー部で、処理基板のセットにおける衝撃や、セット後、搬送における振動による衝撃で、基板受け部の処理基板と接触する箇所において、キズや割れが発生したり、処理後に微小なキズが発生することがない、処理基板を保持する基板ホルダー部を提供する。【解決手段】 各々その上側部にて処理基板の下側の端面に接して、該下側の端面にて処理基板を支える、2以上の複数の基板受け部により、処理基板を保持するもので、前記全て基板受け部もしくは一部の基板受け部は、各々、前記上側部にて処理基板の下側の端面に接して、処理基板側から下側に力を受けて変形し、且つ、変形することにより、上向きに力が働く、弾性部からなる、あるいは、弾性部を有する弾性部材を備え、該弾性部材が処理基板側から力を受けて変形した状態で、前記上向きの力で処理基板を支える、弾性部材付き基板受け部で、各基板受け部による支えをあわせて、処理基板を保持するものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
処理基板を鉛直方向に立てた状態で保持する基板ホルダー部であって、各々その上側部にて処理基板の下側の端面に接して、該下側の端面にて処理基板を支える、2以上の複数の基板受け部により、処理基板を保持するもので、前記全て基板受け部もしくは一部の基板受け部は、各々、前記上側部にて処理基板の下側の端面に接して、処理基板側から下側に力を受けて変形し、且つ、変形することにより、上向きに力が働く、弾性部からなる、あるいは、弾性部を有する弾性部材を備え、該弾性部材が処理基板側から力を受けて変形した状態で、前記上向きの力で処理基板を支える、弾性部材付き基板受け部で、各基板受け部による支えをあわせて、処理基板を保持するものであることを特徴とする 基板ホルダー部。
IPC (5件)：
C23C 14/50 ,  C23C 16/44 ,  C23C 14/34 ,  H01L 21/677 ,  B65G 49/06
FI (5件)：
C23C14/50 B ,  C23C16/44 F ,  C23C14/34 J ,  H01L21/68 A ,  B65G49/06 Z
Fターム (20件)：
4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA48 ,  4K029CA05 ,  4K029JA01 ,  4K029JA05 ,  4K029JA06 ,  4K029KA01 ,  4K030GA02 ,  4K030GA04 ,  4K030GA12 ,  4K030KA46 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031DA11 ,  5F031EA10 ,  5F031FA07 ,  5F031FA18 ,  5F031MA29 ,  5F031PA20
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
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