特許
J-GLOBAL ID:200903043217139313
TMR素子およびその形成方法
発明者:
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
三反崎 泰司
, 藤島 洋一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-288177
公開番号(公開出願番号):特開2009-117846
出願日: 2008年11月10日
公開日(公表日): 2009年05月28日
要約:
【課題】小さい保磁力およびRA値を確保しつつ、高いTMR比を得る。【解決手段】MgOxからなるトンネルバリア層17の上に、CoBX からなる低磁歪(λ=-5×10-6〜0)のフリー層18を形成する。フリー層18は、FeCoY /CoBX (Yは0〜100原子%)という2層構造、あるいは、FeCoY /CoU FeW BZ /CoBX 、FeCoY /CoBX /CoU FeW BZ 、FeCoY /CoFeW /CoBX 、またはFeCoY /FeBV /CoBX という3層構造として形成してもよい。ここで、CoBX を、CoNiFeBまたはCoNiFeBMに置き換えてもよい。但し、MはV,Ti,Zr,Nb,Hf,TaおよびMoのうちのいずれかである。小さい保磁力およびRA値を確保しつつ、従来のCoFe/NiFe構造のフリー層の場合に比べてTMR比が15〜30%程度向上する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
基板の上に順に積層形成された、シード層、反強磁性層およびピンド層を含む積層体と、
前記ピンド層の上に形成された、MgOx(酸化マグネシウム)からなるトンネルバリア層と、
前記トンネルバリア層の上に形成された、CoBX (コバルトボロン;1原子%≦X≦30原子%)またはFeBV (鉄ボロン;1原子%≦V≦30原子%)を含むフリー層と、
前記フリー層の上に形成されたキャップ層と
を備えたTMR(tunneling magnetoresistive) 素子。
IPC (5件):
H01L 43/08
, H01L 43/12
, G11B 5/39
, H01F 10/32
, H01F 10/16
FI (6件):
H01L43/08 M
, H01L43/12
, H01L43/08 Z
, G11B5/39
, H01F10/32
, H01F10/16
Fターム (39件):
5D034BA04
, 5D034BA12
, 5D034BA15
, 5D034BB09
, 5D034DA07
, 5E049AA01
, 5E049AA04
, 5E049AC05
, 5E049BA25
, 5F092AA02
, 5F092AB03
, 5F092AB06
, 5F092AC12
, 5F092AD03
, 5F092BB09
, 5F092BB10
, 5F092BB17
, 5F092BB22
, 5F092BB31
, 5F092BB34
, 5F092BB35
, 5F092BB36
, 5F092BB42
, 5F092BB43
, 5F092BB53
, 5F092BC03
, 5F092BC04
, 5F092BC07
, 5F092BC13
, 5F092BC14
, 5F092BC18
, 5F092BC22
, 5F092BE06
, 5F092BE24
, 5F092BE25
, 5F092CA02
, 5F092CA14
, 5F092CA23
, 5F092CA25
引用特許:
出願人引用 (4件)
-
米国特許第7,035,058号
-
米国特許公開2007/0139827号
-
米国特許公開2007/0047159号
-
米国特許公開2007/0070553号
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る