特許
J-GLOBAL ID：200903043404337625

露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法

発明者：
斉藤 謙治

斉藤 謙治 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-150073
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326741
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：
【要約】【課題】 物体面上に形成されているアライメントマークの位置を精密に測定し、微細な電子回路パターンを逐次作成する際に好適な露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法を得ること。【解決手段】 レジストを塗布した被露光物体の位置情報を検出するファインアライメント系からの信号を用いて該被露光物体の位置合わせをして、その面上にパターンを形成する際、該ファインアライメント系は該被露光物体又はそれを載置している基板に設けたアライメントマークに励起光を照射する照射手段、該アライメントマークの近傍に励起された近接場と相互作用させるプローブ、該近接場に存在する近接場光をプローブを用いて受光する光検出器、該光検出器からの信号を利用して該被露光物体の位置情報を求める制御手段、そして該制御手段からの信号に基づいて該被露光物体を駆動させて位置合わせを行う駆動手段とを有していること。
請求項（抜粋）：
レジストを塗布した被露光物体の位置情報をファインアライメント系で検出し、該ファインアライメント系からの信号を用いて該被露光物体の位置合わせをして、その面上に露光光を照射してパターンを形成する露光装置において、該ファインアライメント系は該被露光物体又は該被露光物体を載置している基板に設けたアライメントマークに励起光を照射する照射手段、該アライメントマークの近傍に励起された近接場と相互作用させるプローブ、該近接場に存在する近接場光をプローブを用いて受光する光検出器、該光検出器からの信号を利用して該被露光物体の位置情報を求める制御手段、そして該制御手段からの信号に基づいて該被露光物体を駆動させて位置合わせを行う駆動手段とを有していることを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
H01L 21/30 525 E ,  G01B 11/00 G ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/66 J
引用特許：
審査官引用 (8件)
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