ナノダイヤモンド膜及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (6件)：鈴江武彦 , 村松貞男 , 坪井淳 , 橋本良郎 , 河野哲 , 中村誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-344066
公開番号（公開出願番号）：特開2004-176132
出願日： 2002年11月27日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】種々の材質の基板上に低温で成膜可能な、ナノメートルオーダーの微細な結晶粒子からなる、表面が平滑なナノダイヤモンド膜およびその製造方法を提供すること。【解決手段】基体上に合成されて成り、結晶粒径が1nm以上、1000nm未満であるナノクリスタルダイヤモンドを主成分として含むことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基体上に合成された、結晶粒径が1nm以上、1000nm未満であるナノクリスタルダイヤモンドを主成分として含むことを特徴とするナノダイヤモンド膜。

IPC (4件)：

C23C16/27 , B82B1/00 , B82B3/00 , C23C16/511

FI (4件)：

C23C16/27 , B82B1/00 , B82B3/00 , C23C16/511

Fターム (15件)：

4K030AA05 , 4K030AA09 , 4K030AA14 , 4K030BA28 , 4K030CA02 , 4K030CA04 , 4K030CA05 , 4K030CA06 , 4K030CA08 , 4K030CA12 , 4K030FA01 , 4K030JA01 , 4K030JA06 , 4K030JA10 , 4K030LA01

引用特許：

審査官引用 (7件)

ダイヤモンド状炭素薄膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-237870 出願人：積水化学工業株式会社
針状表面を有するダイヤモンド、繊毛状表面を有する炭素系材料、その製造方法、それを使用した電極及び電子デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-205935 出願人：株式会社神戸製鋼所
特開平1-246116

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