特許
J-GLOBAL ID：200903043927229052
カンチレバー型センサ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-085568
公開番号（公開出願番号）：特開2008-241618
出願日： 2007年03月28日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：
【課題】高精度に物理量を検出することができるようにする。【解決手段】ブリッジ回路18Aによって、カンチレバー10の振動状態に応じた歪み抵抗素子16Aの抵抗変化を電圧変化として検出し、検出した振動信号を出力する。また、カンチレバー10が共振している状態において、ハイパスフィルタ19Bによって振動信号から高周波数成分の共振信号が取り出され、ローパスフィルタ19Cによって、振動信号から低周波数成分としてのDC成分の変形信号が取り出される。そして、変形信号を用いて共振信号を補正して、共振周波数の変化を検出し、共振周波数の変化からカンチレバーに付着した物質の質量の時間変化を検出する。または、変形信号に基づいて、温度の時間変化を検出する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
カンチレバーと、
前記カンチレバーを振動させるアクチュエータと、
前記カンチレバーの振動状態を検出する振動検出手段と、
前記カンチレバーが共振するように前記アクチュエータを制御する制御手段と、
前記カンチレバーが共振するように制御されている状態で、前記振動検出手段で検出された前記振動状態の低周波数成分、又は前記低周波数成分及び高周波数成分に基づいて、物理量を検出する物理量検出手段と、
を含むカンチレバー型センサ。
IPC (4件)：
G01N 5/02
, G01N 13/10
, G01K 7/32
, G01G 3/16
G01N5/02 A
, G01N13/10 111D
, G01K7/32 Z
, G01G3/16
