特許
J-GLOBAL ID：200903044624956047
光記録媒体作製用原盤の製造方法及び光記録媒体作製用スタンパーの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
角田 芳末 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-134544
公開番号（公開出願番号）：特開2003-331480
出願日： 2002年05月09日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：
【要約】【課題】 微細な凹凸パターンが形成されたスタンパーを原盤から剥離する際のスタンパーの凹凸パターンの破損を防いで、微細な凹凸パターンを有するスタンパーを安定して歩留まりよく製造することが可能になる光記録媒体作製用原盤の製造方法及び光記録媒体作製用スタンパーの製造方法を提供する。【解決手段】 基板21上に第1の膜22を形成し、この第1の膜22を露光に対する感光性を有しない状態とした後、第1の膜22の上にドライエッチングに対する耐性を有しレジスト膜から成る第2の膜23を形成し、この第2の膜23を露光・現像によりパターニングして、このパターニングにより凹凸パターンが形成された第2の膜23をマスクとして使用して第1の膜22に対してドライエッチングにより凹凸パターンを形成して光記録媒体作製用原盤24を製造する。また、この光記録媒体作製用原盤24を使用して光記録媒体作製用スタンパー25を製造する。
請求項（抜粋）：
基板上に第1の膜を形成する工程と、上記第1の膜の上にレジスト膜から成る第2の膜を形成する工程と、上記第2の膜に対して露光を行い、その後現像により該第2の膜をパターニングする工程と、上記第2の膜をマスクとして使用して、上記第1の膜に対してドライエッチングにより凹凸パターンを形成する工程とを少なくとも有し、上記第1の膜を、少なくとも上記第2の膜を形成する前において、上記露光に対する感光性を有しない状態とし、上記第2の膜の材料として、上記ドライエッチングに対する耐性を有する材料を用いることを特徴とする光記録媒体作製用原盤の製造方法。
IPC (3件)：
G11B 7/26 501
, G11B 7/26 511
, G03F 7/20 504
G11B 7/26 501
, G11B 7/26 511
, G03F 7/20 504
2H097AA03
, 2H097AB07
, 2H097CA16
, 2H097LA20
, 5D121BA05
, 5D121BB05
, 5D121BB33
, 5D121BB34
, 5D121CB00
, 5D121GG04
