特許

J-GLOBAL ID：200903044867034482

レーザー加工品の製造方法及びレーザー加工用保護シート

発明者： 浦入 正勝 ,  日野 敦司 ,  松尾 直之 ,  高橋 智一
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (4件)： 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-100112
公開番号（公開出願番号）：特開2005-279752
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：

【課題】 レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する際に、分解物による被加工物表面の汚染を効果的に抑制でき、かつ加工精度を高くすることのできるレーザー加工用保護シートを用いたレーザー加工品の製造方法を提供することを目的とする。また、前記レーザー加工品の製造方法に用いられるレーザー加工用保護シートを提供することを目的とする。【解決手段】 基材上に少なくとも粘着剤層を有しており、かつ総結合エネルギー比が1未満であるレーザー加工用保護シートを使用し、前記有機系被加工物のレーザー光入射面側に該レーザー加工用保護シートの粘着剤層を貼付する工程、レーザー光を照射してレーザー加工用保護シート及び有機系被加工物を加工する工程、レーザー加工用保護シートを加工後の有機系被加工物から剥離する工程を含むレーザー加工品の製造方法。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基材上に少なくとも粘着剤層を有しており、かつ総結合エネルギー比(総結合エネルギー比=基材を構成する樹脂成分中のある1つの炭素原子と、該炭素原子に結合する他の原子との結合エネルギーの合計値のうちで最小値である総結合エネルギーA/使用する有機系被加工物を構成する原料成分中のある1つの炭素原子と、該炭素原子に結合する他の原子との結合エネルギーの合計値のうちで最小値である総結合エネルギーB)が1未満であるレーザー加工用保護シートを使用し、前記有機系被加工物のレーザー光入射面側に該レーザー加工用保護シートの粘着剤層を貼付する工程、レーザー光を照射してレーザー加工用保護シート及び有機系被加工物を加工する工程、レーザー加工用保護シートを加工後の有機系被加工物から剥離する工程を含むレーザー加工品の製造方法。

IPC (5件)：

B23K26/18 ,  B23K26/16 ,  C09J7/02 ,  C09J201/00 ,  H01L21/301

FI (6件)：

B23K26/18 ,  B23K26/16 ,  C09J7/02 Z ,  C09J201/00 ,  H01L21/78 M ,  H01L21/78 B

Fターム (25件)：

4E068AE00 ,  4E068AF00 ,  4E068CG05 ,  4E068DA09 ,  4E068DA10 ,  4E068DB01 ,  4E068DB12 ,  4E068DB13 ,  4J004AA05 ,  4J004AA10 ,  4J004AB01 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004CE01 ,  4J004EA06 ,  4J004FA04 ,  4J004FA08 ,  4J040CA001 ,  4J040DF001 ,  4J040JA09 ,  4J040JB09 ,  4J040MA02 ,  4J040MA04 ,  4J040NA20

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ダイシングシート及びダイシング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-148273   出願人：リンテック株式会社
• レーザーダイシング用粘着テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-120864   出願人：古河電気工業株式会社

審査官引用 (4件)

• インクジェット記録ヘッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-298047   出願人：松下電器産業株式会社
• クランクシャフト焼入用の高周波誘導加熱コイル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-025025   出願人：電気興業株式会社
• 加工方法および光学部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-298849   出願人：シャープ株式会社
• 汚染物質の除去方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-106926   出願人：キヤノン株式会社