特許
J-GLOBAL ID：200903045553304252

波長変換レーザ用疑似位相整合型波長変換素子及びその製造方法

発明者：
立野 亮

立野 亮 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-239401
公開番号（公開出願番号）：特開2006-059964
出願日： 2004年08月19日
公開日（公表日）： 2006年03月02日
要約：
【課題】 擬似位相整合型波長変換素子を用いて基本波光を高調波光に変換する波長変換レーザ装置におけるレーザの生成効率を改善する。 【解決手段】 光共振器7内に配置する擬似位相整合型波長変換(QPM)素子4の両端面4a、4bの反射率を下げるために、各端面4a、4bに酸化シリコンと窒化シリコンとの混合物を材料とする薄膜を形成する。その混合物の混合比率は、使用する波長におけるQPM素子の基体の屈折率と入射(又は出射)媒質である空気の屈折率とから求まる所定の屈折率になるように制御する。それによって、端面4a、4bでの反射率を従来よりも1桁以上改善した0.01%以下にまで抑制することが可能である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
励起光により励起されたレーザ媒質から放出される基本波光を共振しつつ増幅する光共振器の光路中に介挿され、前記基本波光から高調波光を生成するための波長変換レーザ用の疑似位相整合型波長変換素子において、 高調波を発生する基体の光入射面及び光出射面となる両端面に、所定物質の酸化物と窒化物との混合物を材料とする薄膜を有し、該酸化物と窒化物との混合割合を調整することにより、使用するレーザ波長における前記薄膜の屈折率を、該薄膜を挟んだ入射側物質の屈折率と出射側物質の屈折率とに基づいて算出される所定値になるようにしたことを特徴とする波長変換レーザ装置用の疑似位相整合型波長変換素子。
IPC (3件)：
H01S 3/109 ,  C23C 14/06 ,  G02F 1/37
FI (3件)：
H01S3/109 ,  C23C14/06 L ,  G02F1/37
Fターム (23件)：
2K002AA04 ,  2K002AA05 ,  2K002AB12 ,  2K002CA03 ,  2K002DA01 ,  2K002EA03 ,  2K002GA04 ,  2K002HA20 ,  4K029AA04 ,  4K029BA64 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA06 ,  4K029EA02 ,  4K029EA04 ,  5F172AE03 ,  5F172AE09 ,  5F172AF02 ,  5F172CC01 ,  5F172EE13 ,  5F172NN02 ,  5F172NN23 ,  5F172NQ62
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 波長変換レーザ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-108659   出願人：株式会社島津製作所
審査官引用 (9件)
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