特許
J-GLOBAL ID：200903046805119239
カーボンナノチューブの加工法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-218752
公開番号（公開出願番号）：特開2004-058194
出願日： 2002年07月26日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：
【課題】1本のカーボンナノチューブをその任意の位置で切断することや、1本のカーボンナノチューブを変形させたり、カーボンナノチューブを接合したり、カーボンナノチューブを他の物質に固定したりすることができるイオンビーム照射法以外の新たな加工法を得ることにある。【解決手段】真空中でカーボンナノチューブに電子線を照射して加工を施す。切断加工での照射条件は真空度:1×10-8〜1×10-3Pa、電子線加速電圧:200kV以上、電子線照射電流密度:7.51×106A/mm2〜2.1×1010A/mm2、電子線ビーム径:100nm以下と、変形、接合、固定加工での照射条件は、真空度:1×10-8〜1×10-3Pa、電子線加速電圧:5〜30kV、電子線照射電流密度:2.54×104A/mm2〜4.89×106A/mm2、電子線照射範囲:350nm×500nm以下とされる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
真空中でカーボンナノチューブに電子線を照射してカーボンナノチューブに加工を施すことを特徴とするカーボンナノチューブの加工法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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