光検出器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：長谷川芳樹 , 寺崎史朗 , 石田悟 , 柴山健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-068074
公開番号（公開出願番号）：特開2009-222585
出願日： 2008年03月17日
公開日（公表日）： 2009年10月01日
要約：

【課題】使用環境における温度変化の影響を効率良く低減しつつ、小型化を図ることができる赤外線検出器を提供する。【解決手段】ボロメータ素子11及びリファレンス素子21を有する赤外線検出器1において、基板10の表面から離間して基板10の表面上に支持されたボロメータ薄膜22と、ボロメータ薄膜22の基板10側の表面に絶縁膜31を介して形成された放熱用金属膜23と、放熱用金属膜23及び基板10と熱的に接続された複数の金属柱25とを備えることで、赤外線により発生した受光部22aの熱が絶縁膜31、放熱用金属膜23、金属柱25、基板側放熱用金属膜24を介して基板10へ効率良く放熱されるので、使用環境の変化によって発生する温度変化のみを正確に測定することができ、使用環境における温度変化の影響を効率良く低減しつつ、小型化を図ることができる。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

基板の表面から離間して前記基板の表面上に支持された第1ボロメータ膜と、前記基板の表面から離間して前記基板の表面上に支持された第2ボロメータ膜と、前記第2ボロメータ膜の前記基板側の表面に絶縁膜を介して形成された第1金属膜と、前記第1金属膜及び前記基板と熱的に接続された複数の金属柱と、を備える光検出器。

IPC (4件)：

G01J 1/02 , H01L 37/00 , H01L 27/14 , G01J 1/42

FI (5件)：

G01J1/02 C , H01L37/00 , H01L27/14 K , G01J1/02 Q , G01J1/42 B

Fターム (20件)：

2G065AA04 , 2G065AB02 , 2G065BA12 , 2G065BA34 , 2G065BC05 , 2G065BE08 , 2G065CA21 , 2G065DA18 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA06 , 4M118CA14 , 4M118CB06 , 4M118DD09 , 4M118DD10 , 4M118EA04 , 4M118EA14 , 4M118GA10 , 4M118GB09 , 4M118HA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

赤外線検出器および赤外線フォーカルプレーンアレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-032132 出願人：三菱電機株式会社

審査官引用 (7件)

赤外線固体撮像素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-012269 出願人：三菱電機株式会社
熱分離構造を有する熱型赤外線検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-334049 出願人：日本電気株式会社
特開平4-274346

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