特許
J-GLOBAL ID：200903047963892944
音叉形圧電振動ジャイロ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-087657
公開番号（公開出願番号）：特開2006-266969
出願日： 2005年03月25日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】 圧電振動子の支持や実装が容易で、小型化に伴うSN比の性能低下を抑制した量産性に優れる音叉形圧電振動ジャイロを提供する。【解決手段】 音叉形圧電振動子の面内方向に結晶の分極軸を設定することで、圧電振動子の幅方向の電界による圧電横効果をより大きくし、圧電振動子の1側面だけで電極を構成できるようにした。さらに、音叉形圧電振動子と対向する方向に一体化されたベースフレーム1を介して、面外振動モードの安定化を図るバランス用音叉形圧電振動子を配置し、これらのアーム2,3の先端に圧電振動子の共振周波数を低下させる幅広部200,201を形成する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
第1および第2のアームと前記アームを基部で接続すると共に、取り囲むようにベースフレームが圧電体で一体化して形成され、前記第1および前記第2のアームに駆動および検出用の電極が施された音叉形圧電振動子を用いる音叉形圧電振動ジャイロにおいて、前記音叉形圧電振動子の主面の長さ方向に前記音叉形圧電振動子と対向させて、前記ベースフレームに一体化して形成された第3および第4のアームを備えたことを特徴とする音叉形圧電振動ジャイロ。
IPC (4件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 41/09
, H01L 41/18
G01C19/56
, G01P9/04
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101A
2F105AA08
, 2F105AA10
, 2F105BB02
, 2F105BB13
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD11
, 2F105CD13
出願人引用 (2件)
-
圧電ジャイロ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-191076
出願人：富士通株式会社
-
振動ジャイロ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-058416
出願人：株式会社村田製作所
審査官引用 (11件)
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