特許
J-GLOBAL ID：200903048054170600
成膜装置および発光素子の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-045343
公開番号（公開出願番号）：特開2007-227086
出願日： 2006年02月22日
公開日（公表日）： 2007年09月06日
要約：
【課題】生産性が良好となるように、発光素子の有機層上に金属層を形成することが可能な成膜装置を提供する。【解決手段】被処理基板を保持する保持台を内部に備えた処理容器と、金属を含む成膜原料を蒸発または昇華させて気体原料を生成する、前記処理容器の外部に設置された気体原料生成部と、前記処理容器内に前記気体原料を供給する気体原料供給部と、前記気体原料を前記気体原料生成部から前記気体原料供給部に輸送する輸送路と、を有し、前記被処理基板上の発光層を含む有機層上に金属を含む層を形成するように構成されていることを特徴とする成膜装置。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被処理基板を保持する保持台を内部に備えた処理容器と、
金属を含む成膜原料を蒸発または昇華させて気体原料を生成する、前記処理容器の外部に設置された気体原料生成部と、
前記処理容器内に前記気体原料を供給する気体原料供給部と、
前記気体原料を前記気体原料生成部から前記気体原料供給部に輸送する輸送路と、を有し、
前記被処理基板上の発光層を含む有機層上に金属を含む層を形成するように構成されていることを特徴とする成膜装置。
IPC (3件)：
H05B 33/10
, H01L 51/50
, C23C 14/06
H05B33/10
, H05B33/14 A
, C23C14/06 N
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA00
, 3K007FA01
, 4K029AA24
, 4K029BA02
, 4K029BA62
, 4K029BB02
, 4K029CA01
, 4K029CA05
, 4K029DA05
, 4K029DB17
, 4K029DC32
, 4K029KA02
出願人引用 (2件)
審査官引用 (11件)
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