特許
J-GLOBAL ID：200903048429422734
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-032412
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218924
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】 保存安定性が優れ、化学増幅型レジストとして、放射線に対する透明性が高く、しかもドライエッチング耐性、感度、解像度、パターン形状等に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)酸解離性基として下記一般式(1)で表される基を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基自体および/または該酸解離性基中の基R4 が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、および(B)感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】〔一般式(1)において、R1 、R2 およびR3 は相互に独立に水素原子または炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示すか、あるいはR1 とR2 とが相互に結合して3〜6員環の環状アルキル基を示し、R4 は炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示す。〕
請求項（抜粋）：
(A)酸解離性基として下記一般式(1)で表される基を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基自体および/または該酸解離性基中の基R4 が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、および(B)感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R1 およびR2 は相互に独立に水素原子または炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示すか、あるいはR1 とR2 とが相互に結合して3〜6員環の環状アルキル基を示し、R3 は水素原子または炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示し、R4 は炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示す。〕
引用特許：
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