特許
J-GLOBAL ID：200903048558231538
マイクロアクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奥田 誠司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-118473
公開番号（公開出願番号）：特開2005-341788
出願日： 2005年04月15日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：
【課題】可動部の剛性と重量との間、および可動部の剛性と静電力との間の両方にトレードオフがあった。【解決手段】本発明のマイクロアクチュエータ100は、基台1と、基台1によって支持された第1櫛型電極2と、第1櫛型電極2と対向する第2櫛型電極8と基台1の方向に突出した少なくとも1つの補強リブ9とを備える可動部6と、可動部6の基台1に対する変位が可能なように可動部6を支持する弾性支持部3とを備える。第2櫛型電極8の高さと少なくとも1つの補強リブ9の高さとは互いに異なっている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基台と、
前記基台によって支持された第1櫛型電極と、
前記第1櫛型電極と対向する第2櫛型電極と、前記基台の方向に突出した少なくとも1つの補強リブとを備える可動部と、
前記可動部の前記基台に対する変位が可能なように前記可動部を支持する弾性支持部と
を備え、
前記第2櫛型電極の高さと前記少なくとも1つの補強リブの高さとは互いに異なる、マイクロアクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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