プローブ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： ▲吉▼川俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-314254
公開番号（公開出願番号）：特開2004-150874
出願日： 2002年10月29日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：

【課題】半導体デバイスの電極パッドに接触するプローブにおいて、異物が付着しにくくなって導通不良を抑制し電気的接触を良化させた、検査周波数帯域を向上させた高性能なプローブを提供することを目的とする。【解決手段】少なくとも接触部5は、先端層9と支持層10からなる2層の積層体で、先端層9は、電気的特性の優れた導電性材料から形成し、支持層10は、絶縁材料などで形成する。支持層10の先端層9とは反対側の表面に接地電位と同電位とした金属層11を設ける。接触部5の先端部分は、支持層の先端12より先端層9をはみ出させた位置まで延長して一定厚みtで形成した小径の先端部13を有する。先端部13の少なくとも片辺を丸みを帯びた曲形形状の曲辺14のように構成する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

測定対象物の電極パッドに接触するプローブで、前記プローブは、基板に接続される接続端子部と、前記電極パッドに先端で接触する接触部とを有し、少なくとも前記接触部が、先端層と支持層の少なくとも2層からなる積層体を含むように構成したプローブ。

IPC (4件)：

G01R1/067 , G01R1/073 , G01R31/26 , H01L21/66

FI (4件)：

G01R1/067 J , G01R1/073 E , G01R31/26 J , H01L21/66 B

Fターム (22件)：

2G003AA07 , 2G003AB01 , 2G003AG03 , 2G003AG12 , 2G003AG20 , 2G003AH05 , 2G011AA02 , 2G011AA09 , 2G011AA17 , 2G011AA18 , 2G011AB01 , 2G011AB06 , 2G011AB09 , 2G011AC06 , 2G011AC13 , 2G011AC14 , 2G011AC32 , 2G011AE03 , 2G011AF07 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106DD03

引用特許：

審査官引用 (7件)

プローブ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-115223 出願人：カシオ計算機株式会社
コンタクトプローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-338035 出願人：三菱マテリアル株式会社
プローブカード用探針及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-042028 出願人：株式会社東京カソード研究所

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