走査型プローブ顕微鏡

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-006284
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214112
出願日： 2001年01月15日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】電気的に独立した複数のプローブを有し、100nm以下程度の微小な物質の操作を可能とし、かつ電気測定を可能とする走査型プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】電気的に独立した複数のプローブ10a,10b等を有し、プローブ10a,10b等のうち、2本以上のプローブ10a,10b等がナノチューブプローブであり、かつ、1本以上のプローブ10a,10b等が像観察機能を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡である。

請求項（抜粋）：

電気的に独立した複数のプローブを有し、該プローブのうち、2本以上のプローブがナノチューブプローブであり、かつ、1本以上のプローブが像観察機能を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (7件)：

G01N 13/12 , G01B 7/28 , G01B 7/34 102 , G01B 21/30 , G01N 13/16 , G12B 21/20 , G12B 21/04

FI (7件)：

G01N 13/12 D , G01B 7/28 E , G01B 7/34 102 Z , G01B 21/30 , G01N 13/16 C , G12B 1/00 601 G , G12B 1/00 601 B

Fターム (32件)：

2F063AA41 , 2F063BA30 , 2F063BB02 , 2F063BC10 , 2F063CA40 , 2F063DA01 , 2F063DA05 , 2F063DD03 , 2F063DD04 , 2F063EA16 , 2F063EB18 , 2F063EB19 , 2F063EB23 , 2F063KA01 , 2F069AA61 , 2F069BB40 , 2F069CC10 , 2F069DD30 , 2F069GG01 , 2F069GG06 , 2F069GG20 , 2F069GG63 , 2F069GG64 , 2F069HH05 , 2F069HH30 , 2F069JJ04 , 2F069LL03 , 2F069LL06 , 2F069LL11 , 2F069MM02 , 2F069MM32 , 2F069PP01

引用特許：

審査官引用 (8件)

原子間力顕微鏡用プローバ及び原子間力顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-347859 出願人：工業技術院長, 水谷亘, シャープ株式会社
プローブ顕微鏡装置および探針間距離測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-283415 出願人：日立建機株式会社
カンチレバーおよび情報処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-025566 出願人：株式会社ニコン

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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