電気特性評価装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-360274
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174491
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】低接触抵抗で極微小領域に複数の金属探針を接触させることができる電気特性評価装置を提供する。【解決手段】抵抗部5、2つの抵抗検出用電極1,2、および、電気特性測定用の電極7が形成されたカンチレバー6の自由端に金属探針8を形成する。この際、金属探針8の先端がカンチレバー6の自由端よりも飛び出るようにすることで、10nmレベル領域への複数探針の接触を可能にする。また、原子間力顕微鏡法により探針位置を制御して、低接触抵抗を実現する。

請求項（抜粋）：

独立駆動の複数のカンチレバーを有し、探針・試料間の位置制御を原子間力顕微鏡法によって行う電気特性評価装置であって、前記カンチレバーの自由端部に金属探針を有し、該金属探針の先端が前記カンチレバーの自由端部よりも飛び出して設置されていることを特徴とする電気特性評価装置。

IPC (8件)：

G01R 27/02 , G01B 21/30 , G01N 13/16 , G01N 27/00 , G01R 1/06 , G01R 31/28 , G12B 21/02 , H01L 21/66

FI (8件)：

G01R 27/02 R , G01B 21/30 Z , G01N 13/16 C , G01N 27/00 Z , G01R 1/06 E , H01L 21/66 B , G01R 31/28 K , G12B 1/00 601 A

Fターム (42件)：

2F069AA60 , 2F069AA66 , 2F069DD19 , 2F069DD26 , 2F069GG01 , 2F069GG06 , 2F069GG58 , 2F069GG63 , 2F069GG65 , 2F069HH05 , 2F069JJ08 , 2F069JJ14 , 2F069KK10 , 2F069LL03 , 2F069MM38 , 2G011AA02 , 2G011AB06 , 2G011AC01 , 2G011AC06 , 2G011AC11 , 2G011AC14 , 2G028AA04 , 2G028BB20 , 2G028CG30 , 2G028HM08 , 2G028HM10 , 2G032AA00 , 2G032AB00 , 2G032AF01 , 2G032AL03 , 2G060AA10 , 2G060AE40 , 2G060AF07 , 2G060AG01 , 2G060EB07 , 4M106CA10 , 4M106DB18 , 4M106DD03 , 4M106DD05 , 4M106DD06 , 4M106DD13 , 4M106DJ04

引用特許：

審査官引用 (10件)

不良検査方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-141353 出願人：株式会社日立製作所
電子素子評価装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-174612 出願人：株式会社日立製作所
原子間力顕微鏡用探針付カンチレバーおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-271278 出願人：松下電器産業株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

“ナノスケールの物性や機能をどう測るか -ナノ構造の「構築」から「計測」へ-”

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