光スイッチ及びその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：四宮通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-395511
公開番号（公開出願番号）：特開2003-195195
出願日： 2001年12月26日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】容易でかつ歩留りの良い製造を可能にする。【解決手段】光導波路基板2は、ミラー受け入れ用の溝24と光導波路とを有する。光導波路は、入力ポートに入力された光を、溝24に対するミラー31の進出及び退出に応じて選択された出力ポートに導く。アクチュエータ基板4は、ミラー31と、ミラー31を基板4側に引っ込んだ状態と基板4から突出した状態とにするアクチュエータを有する。ミラー31が基板4側に引っ込んだときに溝24から退出するとともにミラー31が基板4から突出したときに溝24内に進出するように、光導波路基板2とアクチュエータ基板4とが、アライメントマークを利用して位置合わせして、スペーサ3を介して接合される。この位置合わせは、全てのミラー31を基板4側に引っ込んだ状態にして行われる。

請求項（抜粋）：

1つ以上の入力ポートと、複数の出力ポートと、当該光導波路基板の一方の面側に形成された1つ以上のミラー受け入れ凹部と、前記1つ以上の入力ポートに入力された光を、前記複数の出力ポートのうちの、前記1つ以上のミラー受け入れ凹部に対する前記1つ以上のミラーの進出及び退出に応じて選択された出力ポートに導く光導波路と、を有する光導波路基板と、前記1つ以上のミラーと、前記1つ以上のミラーに対応して設けられて当該対応するミラーを支持し、当該対応するミラーを、信号に応じて、当該アクチュエータ基板の一方の面側において当該面から相対的に遠い第1の位置と当該面に相対的に近い第2の位置とに位置させる1つ以上のアクチュエータと、を有するアクチュエータ基板と、を備え、前記1つ以上のミラーの前記第1の位置が前記1つ以上のミラー受け入れ凹部に対する進出位置となるとともに、前記1つ以上のミラーの前記第2の位置が前記1つ以上のミラー受け入れ凹部に対する退出位置となるように、前記光導波路基板と前記アクチュエータ基板とが位置合わせされて接合され、前記光導波路基板には、前記光導波路基板と前記アクチュエータ基板とを位置合わせするための第1のアライメントマークが形成され、前記アクチュエータ基板には、前記光導波路基板と前記アクチュエータ基板とを位置合わせするための第2のアライメントマークが形成されたことを特徴とする光スイッチ。

IPC (3件)：

G02B 26/08 , B81B 3/00 , B81C 3/00

FI (3件)：

G02B 26/08 E , B81B 3/00 , B81C 3/00

Fターム (6件)：

2H041AA16 , 2H041AB13 , 2H041AC06 , 2H041AZ02 , 2H041AZ03 , 2H041AZ08

引用特許：

審査官引用 (7件)

基板貼合せ時における位置合せ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-293180 出願人：三菱マテリアル株式会社
特開平1-246815
基板貼合せ時における位置合せ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-293775 出願人：三菱マテリアル株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

Electronic Components and Technology Conference 2001,Proceedings,51st, 2001, p.1013-1018

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