特許
J-GLOBAL ID：200903049626998695
圧電素子、角速度センサ、及び圧電素子の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大森 純一
, 折居 章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-297321
公開番号（公開出願番号）：特開2009-123972
出願日： 2007年11月15日
公開日（公表日）： 2009年06月04日
要約：
【課題】圧電特性、耐熱性に優れた圧電素子、角速度センサ、及びこの圧電素子の製造方法を提供すること。【解決手段】基板上に第1の電極膜34aが形成され、この第1の電極膜34a上にPZT薄膜33が形成されることで、圧電素子139が形成される。PZT薄膜33は、化学式Pb1+X(ZrYTi1-Y)O3+Xで表された場合に、PbO過剰組成比Xが0以上0.3以下であり、Zr組成比Yが0以上0.55以下である。このようにPZT薄膜33が形成されることで、圧電特性に優れた圧電素子139を得ることができる。Zr組成比Yが0以上0.5以下であれば、減分極が生じにくく、耐熱性に優れている。また、膜厚が400nm以上1000nm以下とされることで、さらに圧電特性に優れた圧電素子139を得ることができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
化学式Pb1+X(ZrYTi1-Y)O3+Xで表され、前記Xが0以上0.3以下であり、前記Yが0以上0.55以下であり、かつ、400nm以上1000nm以下の膜厚を有する、チタン酸ジルコン酸鉛でなる圧電膜と
前記圧電膜に電圧を印加するための電極膜と
を具備する圧電素子。
IPC (8件)：
H01L 41/09
, H01L 41/08
, H01L 41/22
, H01L 41/18
, H01L 41/187
, G01P 9/04
, G01C 19/56
, G01P 15/09
H01L41/08 C
, H01L41/08 Z
, H01L41/22 B
, H01L41/18 101Z
, H01L41/18 101J
, H01L41/08 L
, H01L41/22 Z
, G01P9/04
, G01C19/56
, G01P15/09 D
2F105BB01
, 2F105BB20
, 2F105CC06
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD13
出願人引用 (2件)
審査官引用 (8件)
全件表示
前のページに戻る
