特許
J-GLOBAL ID：200903049755141466
近視野光プローブとその製造方法、およびその近視野光プローブを用いた近視野光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-352778
公開番号（公開出願番号）：特開2002-014030
出願日： 2000年11月20日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：
【要約】【課題】 強度の大きな近視野光を照射または/および検出することができ、S/N比の大きな光学像を取得することができる近視野光プローブ、および、その製造方法や近視野光装置を得ること。【解決手段】 近視野光プローブ1000は、片持ち梁状のカンチレバー2と、カンチレバー2を支持する基部3と、カンチレバー2上に形成された錘状のチップ1と、チップ1の先端に形成された微小開口5と、カンチレバー2の基部3とは反対側の面と、チップ1の微小開口5以外の部分に形成された遮光膜4からなり、チップ1とカンチレバー2が、微小開口5において発生および/あるいは検出する光の波長に対して透過率の高い透明材料を用いて形成され、チップ1が透明材料で充填されている構成とする。
請求項（抜粋）：
カンチレバーと、前記カンチレバーを支持する基部と、前記カンチレバーに形成され、前記基部とは反対側の面に形成された錘状のチップと、前記チップの先端に形成された微小開口と、前記カンチレバーの前記基部とは反対側の面、及び、前記チップの前記微小開口以外の面に形成された遮光膜と、を備え、前記チップと前記カンチレバーが、前記微小開口において発生および/あるいは検出する光の波長に対して透過率の高い透明材料を用いて形成され、前記チップが前記透明材料で充填されていることを特徴とする近視野光プローブ。
IPC (3件)：
G01N 13/14
, G01B 11/30
, G12B 21/06
G01N 13/14 B
, G01B 11/30 A
, G12B 1/00 601 C
2F065AA49
, 2F065FF00
, 2F065GG04
, 2F065LL00
, 2F065LL02
, 2F065LL04
, 2F065LL12
