特許

J-GLOBAL ID：200903050220489925

カーボン製モニタウェハ

発明者： 山田 公 ,  松尾 二郎 ,  豊田 紀章 ,  村田 和俊
出願人/特許権者： 三井造船株式会社
代理人 (1件)： 村上 友一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-088066
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282384
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：

【要約】【課題】 長期間の繰り返し使用が可能でパーティクルの検出が可能であってスクラッチ傷のない、表面清浄度が高く、表面粗さが極めて小さい超平坦面を有するカーボン製モニタウェハを提供する。【解決手段】 熱硬化性樹脂を硬化後に焼成炭化して得られたガラス状カーボン材をウェハ状に加工した後に表面を研磨し、その後、研磨面にガスクラスターイオンビーム(GCIB)を照射して表面を超平坦化する。表面に照射するGCIBのガス種にO2ガス単独、または、最初にO2ガスを、続いてArガスを用いて、段階的にGCIBを照射するようにすればよい。

請求項（抜粋）：

熱硬化性樹脂を硬化後に焼成炭化して得られたガラス状カーボン材をウェハ状に加工した後に表面を研磨し、その後、研磨面にガスクラスターイオンビームを照射して表面を超平坦化してなるカーボン製モニタウェハ。

IPC (4件)：

H01L 21/02 ,  B23K 15/00 508 ,  H01L 21/302 201 ,  C01B 31/02 101

FI (4件)：

H01L 21/02 B ,  B23K 15/00 508 ,  H01L 21/302 201 B ,  C01B 31/02 101 A

Fターム (15件)：

4E066BA13 ,  4E066CB16 ,  4G146AA01 ,  4G146AC01A ,  4G146AC01B ,  4G146AD30 ,  4G146BA13 ,  4G146BA18 ,  4G146BC03 ,  5F004AA11 ,  5F004BA11 ,  5F004DA23 ,  5F004DA26 ,  5F004DB00 ,  5F004EB08

引用特許：

審査官引用 (5件)

• テストウエハ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-302491   出願人：株式会社神戸製鋼所
• ガラス状炭素製ダミーウエハ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-264444   出願人：日立化成工業株式会社
• ダミーウエハー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-121367   出願人：株式会社神戸製鋼所
• ガスクラスターイオンビームによる固体表面の 平坦化方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-057587   出願人：新技術事業団, 三洋電機株式会社
• ガスクラスターイオンビームによる 超精密研磨加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-262910   出願人：新技術事業団, 安達新産業株式会社