カーボン製モニタウェハ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村上友一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-088066
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282384
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：

【要約】【課題】長期間の繰り返し使用が可能でパーティクルの検出が可能であってスクラッチ傷のない、表面清浄度が高く、表面粗さが極めて小さい超平坦面を有するカーボン製モニタウェハを提供する。【解決手段】熱硬化性樹脂を硬化後に焼成炭化して得られたガラス状カーボン材をウェハ状に加工した後に表面を研磨し、その後、研磨面にガスクラスターイオンビーム(GCIB)を照射して表面を超平坦化する。表面に照射するGCIBのガス種にO2ガス単独、または、最初にO2ガスを、続いてArガスを用いて、段階的にGCIBを照射するようにすればよい。

請求項（抜粋）：

熱硬化性樹脂を硬化後に焼成炭化して得られたガラス状カーボン材をウェハ状に加工した後に表面を研磨し、その後、研磨面にガスクラスターイオンビームを照射して表面を超平坦化してなるカーボン製モニタウェハ。

IPC (4件)：

H01L 21/02 , B23K 15/00 508 , H01L 21/302 201 , C01B 31/02 101

FI (4件)：

H01L 21/02 B , B23K 15/00 508 , H01L 21/302 201 B , C01B 31/02 101 A

Fターム (15件)：

4E066BA13 , 4E066CB16 , 4G146AA01 , 4G146AC01A , 4G146AC01B , 4G146AD30 , 4G146BA13 , 4G146BA18 , 4G146BC03 , 5F004AA11 , 5F004BA11 , 5F004DA23 , 5F004DA26 , 5F004DB00 , 5F004EB08

引用特許：

出願人引用 (5件)

テストウエハ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-302491 出願人：株式会社神戸製鋼所
ガラス状炭素製ダミーウエハ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-264444 出願人：日立化成工業株式会社
ダミーウエハー
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-121367 出願人：株式会社神戸製鋼所

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審査官引用 (5件)

テストウエハ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-302491 出願人：株式会社神戸製鋼所
ガラス状炭素製ダミーウエハ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-264444 出願人：日立化成工業株式会社
ダミーウエハー
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-121367 出願人：株式会社神戸製鋼所

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