赤外線検出素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-164363
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015037
出願日： 1995年06月29日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【目的】赤外線検出素子の熱絶縁膜の破壊を防止し生産性を向上させる。【構成】中空部11を備えた基板10と、中空部11を覆う熱絶縁膜12と、熱絶縁膜12上に赤外線検出部13とを備えた赤外線検出素子で、赤外線検出部13間の熱絶縁膜12上に梁状の補強部14を形成した。【効果】補強部14によって熱絶縁膜12を補強することができる。熱絶縁膜12の厚みをさらに薄くして赤外線検出素子の感度を向上させたり、熱絶縁膜12を大きくして、より多くの赤外線検出部7を形成し、熱画像の解像度を向上させることもできる。

請求項（抜粋）：

表面から裏面に貫通する中空部を備えた基板と、その中空部の表面側開口を覆ってその周辺部分が前記基板に支持された熱絶縁膜とを備え、前記表面側開口の上方の前記熱絶縁膜上に、薄膜抵抗体を用いた複数の赤外線検出部とを備えた赤外線検出素子において、隣接する前記赤外線検出部間の前記熱絶縁膜上に、梁状の補強部が形成されていることを特徴とする赤外線検出素子。

IPC (2件)：

G01J 1/02 , H01L 27/14

FI (3件)：

G01J 1/02 C , G01J 1/02 R , H01L 27/14 K

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-158583
赤外線センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-311709 出願人：テルモ株式会社, 木村光照
赤外線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-352113 出願人：松下電工株式会社

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