特許
J-GLOBAL ID：200903050681783531

軸出し装置、膜厚測定装置、成膜装置、軸出し方法及び膜厚測定方法

発明者：
陳 凱

陳 凱 について

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大村 文彦

大村 文彦 について

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南津 顕仁

南津 顕仁 について

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中村 静雄

中村 静雄 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (1件)： 石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-372456
公開番号（公開出願番号）：特開2002-174502
出願日： 2000年12月07日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：
【要約】【課題】導電性薄膜が表面に成膜された薄膜の膜厚分布を容易に求めることができる技術に関する。【解決手段】本発明の膜厚測定装置11は、リフタ14と、支持台13と、発光装置151と受光装置152とを有している。リフタ14は、ウエハ50の中心が支持台13の中心と一致した状態でウエハ50を支持台13表面に載せ、ウエハの中心を求める。ウエハの中心でウエハ50を回転させながら発光装置151がウエハ50の周縁にレーザ光を照射し、レーザ光がノッチ53を通るか否かでノッチ53の位置を検出することができる。こうしてノッチ53の位置とウエハ50の中心の位置を検出してウエハ50表面の中心軸線を求め、この中心軸線とウエハ50の中心とでウエハ50表面での任意の位置の座標を定めることができ、所定位置におけるウエハ50表面の薄膜の膜厚を求めることができる。
請求項（抜粋）：
円形の基板の表面における中心軸線を求めるように構成された軸出し装置であって、前記基板を表面に載置して支持できるように構成された支持台と、前記支持台を、前記支持台の表面を含む面内で回転できるように構成された駆動機構と、前記支持台の周縁部近傍に配置された発光装置と、前記発光装置と対向して前記支持台の周縁部近傍に配置された受光装置とを有し、前記発光装置は、前記受光装置に向けて光を発することができるように構成された軸出し装置。
IPC (4件)：
G01B 7/06 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68
FI (5件)：
G01B 7/06 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/66 P ,  H01L 21/68 M ,  H01L 21/68 P
Fターム (54件)：
2F063AA16 ,  2F063BB02 ,  2F063BB07 ,  2F063BC09 ,  2F063GA08 ,  2F063GA29 ,  2F063GA79 ,  2F063JA04 ,  2F063LA27 ,  4M106AA01 ,  4M106AA11 ,  4M106BA05 ,  4M106BA14 ,  4M106CA48 ,  4M106DG05 ,  4M106DH03 ,  4M106DH16 ,  4M106DH32 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ07 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031GA38 ,  5F031GA44 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031HA32 ,  5F031HA53 ,  5F031JA01 ,  5F031JA02 ,  5F031JA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA13 ,  5F031JA15 ,  5F031JA17 ,  5F031JA32 ,  5F031JA35 ,  5F031KA02 ,  5F031KA03 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031KA11 ,  5F031KA14 ,  5F031MA04 ,  5F031MA25 ,  5F031MA33 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F045GB09
引用特許：
審査官引用 (15件)
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