特許
J-GLOBAL ID:200903050976966972

半導体レーザおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-062353
公開番号(公開出願番号):特開平9-260766
出願日: 1996年03月19日
公開日(公表日): 1997年10月03日
要約:
【要約】【課題】 狭線幅の半導体レーザを提供する。【解決手段】 InP基板1上に積層された障壁層5の導波路層6と接する部分に、導波路層6と同一導電型のドーピングを実施する。これにより、電流の注入効率を増大して、高出力化を実現する。また、埋込層のキャリア濃度を低減するとともに、井戸層数を低減して、内部損失を減少し、狭線幅化を実現する。
請求項(抜粋):
InP基板と、前記基板上に成長した導波路層と、井戸層と障壁層よりなる量子井戸活性層と、InPクラッド層よりなり、前記導波路層がInGaAsP(エネルギーバンドギャップEg:1.13<Eg(eV)<1.30)で、前記障壁層がInGaAsP(1.04<Eg(eV)<1.20)で構成されており、共振器長を650μm以上1500μm以下とすることを特徴とした半導体レーザ。
引用特許:
審査官引用 (9件)
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