ナノプリント用スタンパ、及び微細構造転写方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-131808
公開番号（公開出願番号）：特開2009-206519
出願日： 2009年06月01日
公開日（公表日）： 2009年09月10日
要約：

【課題】ナノプリント法において、基板からスタンパを剥離する工程を高精度かつ容易に行うことを目的とする。【解決手段】プレス装置を用い、基板上に微細構造を形成するためのスタンパにおいて、前記スタンパが剥離機構を有することを特徴とするナノプリント用スタンパ、及び該スタンパを用いるパターン転写方法。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

プレス装置を用い、基板上に微細構造を形成するためのスタンパにおいて、前記スタンパは可撓性を有するパターン部と枠状の支持体と前記支持体と前記パターン部の間に介在する弾性体から構成されることを特徴とするナノプリント用スタンパ。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , H01L 21/320 , B29C 59/02

FI (3件)：

H01L21/30 502D , H01L21/88 B , B29C59/02 B

Fターム (27件)：

4F209AF01 , 4F209AG03 , 4F209AG05 , 4F209AJ05 , 4F209AJ11 , 4F209PA02 , 4F209PA07 , 4F209PA08 , 4F209PA15 , 4F209PB01 , 4F209PB13 , 4F209PN06 , 4F209PQ09 , 4F209PQ11 , 5F033HH07 , 5F033HH11 , 5F033PP15 , 5F033PP27 , 5F033PP28 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ41 , 5F033QQ47 , 5F033RR04 , 5F033RR21 , 5F033XX03 , 5F046AA28

引用特許：

審査官引用 (8件)

インプリント方法およびインプリント装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-084681 出願人：日本電信電話株式会社
物品の面をスタンピングするための装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-048498 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
デバイス製作のためのリソグラフィ・プロセス
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-224839 出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド

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