感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：鐘尾宏紀 , 野口武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-082067
公開番号（公開出願番号）：特開2004-287326
出願日： 2003年03月25日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

【課題】アルカリ可溶性樹脂及び感光剤を含有する感光性樹脂組成物において、高温ベーキング後においても膜表面の平坦性を保持し、良好な光透過率を有する薄膜が得られ、且つ経時安定性の良い、特に層間絶縁膜、平坦化膜などの形成に適した感光性樹脂組成物、これを用いたフラットパネルディスプレイおよび半導体素子を提供する。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂及びキノンジアジド基を有する感光剤を含有する感光性樹脂組成物であって、アルカリ可溶性樹脂が、重合開始剤として、シアノ基を有さないアゾ系重合開始剤あるいはシアノ基を有さないアゾ系重合開始剤とシアノ基を有さないアゾ系重合開始剤を用いて合成されたアクリル系樹脂であり、且つ下記一般式(I)で表されるフェノール性化合物及びエポキシ基を有する硬化剤を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂及びキノンジアジド基を有する感光剤を含有する感光性樹脂組成物であって、アルカリ可溶性樹脂が、重合開始剤として、シアノ基を有さないアゾ系重合開始剤を用いて合成されたアクリル系樹脂であり、且つ下記一般式(I)で表されるフェノール性化合物及びエポキシ基を有する硬化剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F7/022 , G03F7/004 , H01L21/027

FI (3件)：

G03F7/022 601 , G03F7/004 501 , H01L21/30 502R

Fターム (17件)：

2H025AA00 , 2H025AA10 , 2H025AA11 , 2H025AB14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025BJ10 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB55 , 2H025CC17 , 2H025CC20 , 2H025FA29 , 2H025FA30

引用特許：

審査官引用 (9件)

感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-147482 出願人：住友化学工業株式会社
水溶性感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-191965 出願人：東京応化工業株式会社
感光性平版印刷版
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-284507 出願人：富士写真フイルム株式会社

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