特許
J-GLOBAL ID：200903051220213489

ナノインプリント用硬化性組成物、硬化物およびその製造方法

発明者：
藤田 明徳

藤田 明徳 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-045062
公開番号（公開出願番号）：特開2009-206197
出願日： 2008年02月26日
公開日（公表日）： 2009年09月10日
要約：
【課題】パターン転写精度、硬化膜の機械特性(弾性回復率)、および、硬化物の硬度に優れたナノインプリント用硬化性組成物、並びに、これを用いた硬化物およびその製造方法を提供する。【解決手段】シルセスキオキサン化合物と、無機微粒子と、を少なくとも含み、更に必要に応じて、エチレン性不飽和結合含有基を1個以上有する重合性不飽和単量体、および重合開始剤を含む組成物を重合することを特徴とするナノインプリント用硬化性組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
シルセスキオキサン化合物と、無機微粒子と、を少なくとも含むことを特徴とするナノインプリント用硬化性組成物。
IPC (7件)：
H01L 21/027 ,  C08F 2/44 ,  G02B 5/20 ,  C08F 230/08 ,  B29C 59/00 ,  C08L 83/04 ,  C08F 290/14
FI (7件)：
H01L21/30 502D ,  C08F2/44 Z ,  G02B5/20 101 ,  C08F230/08 ,  B29C59/00 A ,  C08L83/04 ,  C08F290/14
Fターム (88件)：
2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BB34 ,  2H048BB37 ,  2H048BB42 ,  4F209AA33 ,  4F209AA44 ,  4F209AB06 ,  4F209AB10 ,  4F209AB17 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AJ06 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN03 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  4J002CP031 ,  4J002CP161 ,  4J002DE096 ,  4J002DE136 ,  4J002DE146 ,  4J002DJ016 ,  4J002EH077 ,  4J002FD079 ,  4J002FD318 ,  4J002GP00 ,  4J011PA13 ,  4J011PA47 ,  4J011PC01 ,  4J011PC08 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL63P ,  4J100BA81Q ,  4J100BC43P ,  4J100CA04 ,  4J100FA17 ,  4J100JA32 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127AA06 ,  4J127BB041 ,  4J127BB042 ,  4J127BB051 ,  4J127BB091 ,  4J127BB092 ,  4J127BB221 ,  4J127BB222 ,  4J127BC061 ,  4J127BC062 ,  4J127BC151 ,  4J127BC152 ,  4J127BD301 ,  4J127BD321 ,  4J127BD322 ,  4J127BD331 ,  4J127BD332 ,  4J127BE59Y ,  4J127BE591 ,  4J127BE592 ,  4J127BF02Y ,  4J127BF022 ,  4J127BF71Y ,  4J127BF711 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG171 ,  4J127BG172 ,  4J127BG37Y ,  4J127BG371 ,  4J127BG372 ,  4J127BG38Y ,  4J127BG381 ,  4J127BG382 ,  4J127CB152 ,  4J127CB281 ,  4J127CB343 ,  4J127CC032 ,  4J127DA12 ,  4J127DA61 ,  4J127FA01 ,  4J127FA21 ,  4J127FA30 ,  4J127FA41 ,  5F046AA28
引用特許：
出願人引用 (23件)
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