特許
J-GLOBAL ID：200903051507860744

プラズマディスプレイパネルの焼成炉及びプラズマディスプレイパネルの製造方法

発明者：
小島 浩史

小島 浩史 について


出願人/特許権者：
NECプラズマディスプレイ株式会社

NECプラズマディスプレイ株式会社 について


代理人 (1件)： 藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-387107
公開番号（公開出願番号）：特開2004-207225
出願日： 2003年11月17日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：
【課題】 給気配管の長手方向に沿って配列された複数の開口部から、気体を均一に供給することができるプラズマディスプレイパネルの焼成炉及びこの焼成炉を使用したプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。 【解決手段】 プラズマディスプレイパネルの焼成炉において、給気配管8及び排気配管9の断面形状を円形とし、その直径を長手方向において均一とする。給気配管8の側面に複数の円形の開口部15を形成し、この開口部15は給気配管8の両端部から中央部に向けて段階的に大きくする。また、排気配管9の側面に複数の楕円形の開口部17を形成し、この開口部17は排気配管9の両端部から中央部に向けて段階的に大きくする。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその両端部から酸素を含む気体が供給され前記開口部を介して前記焼成炉内に前記気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記給気配管の両端部から中央部に向かうにつれて前記開口部の大きさが大きくなっているか、又は前記給気配管はその両端部から中央部に向かうにつれて細くなっていることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの焼成炉。
IPC (2件)：
H01J9/24 ,  H01J11/02
FI (2件)：
H01J9/24 A ,  H01J11/02 Z
Fターム (8件)：
5C012AA09 ,  5C012BB07 ,  5C040GC19 ,  5C040GD09 ,  5C040GF19 ,  5C040GG09 ,  5C040JA21 ,  5C040MA23
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
  • 熱処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-241962   出願人：松下電器産業株式会社
  • ウェーハの洗浄装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-219604   出願人：エルジーセミコンカンパニーリミテッド
  • 画像表示装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-263041   出願人：キヤノン株式会社
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