特許
J-GLOBAL ID：200903051946019894
感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-325445
公開番号（公開出願番号）：特開平8-179502
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【構成】 フェノール類とジシクロペンタジエンからなる共重合樹脂を、必須のアルカリ可溶性樹脂成分とし、さらに光反応性成分を配合してなる感光性樹脂組成物。【効果】 248nm付近に吸収の少ないフェノール-ジシクロペンタジエン樹脂を、アルカリ可溶性樹脂として用いることにより、より高感度、高解像度が得られるエキシマレーザー、特に、KrFエキシマレーザーを用いてレジストパターンを得るシステムを与えるものである。
請求項（抜粋）：
(A)アルカリ可溶性樹脂成分として、一般式(1)(化1)で表されるフェノール-ジシクロペンタジエン樹脂を10〜100重量%含んだ樹脂、および、(B)光反応性成分、を含む感光性樹脂組成物。【化1】(式中、R1 、R2 は各々独立に、水素原子、炭素数1〜4の低級アルキル基、フェニル基、ハロゲン原子、水酸基を示し、互いに異なっていても同一であってもよく、nは0〜20の整数を示す)
IPC (3件)：
G03F 7/023 511
, C08L 65/00 LNY
, G03F 7/022
