特許
J-GLOBAL ID:200903052802894827

光コヒーレンストモグラフィー装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 清水 守 ,  川合 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-345569
公開番号(公開出願番号):特開2008-157710
出願日: 2006年12月22日
公開日(公表日): 2008年07月10日
要約:
【課題】 参照光の回帰光の偏光を任意に制御して、さらに偏光分離した各回折分光を光アレイセンサーで一回検出するのみで、参照光の傾斜や反射ミラーによる機械的位相シフトを行う必要のない、計測物体の深層分布像を容易に観測できる偏光制御スペクトルドメインの光コヒーレンストモグラフィー装置を提供する。【解決手段】 参照光の偏光制御生成手段50を用い、偏光を変化して合波光を偏光分離した回折分光にして光検出する手段60を具備して、偏光ビームスプリッター16で偏光分離した干渉光を光アレイセンサー17,18で検出し、機械的位相シフトを要せず、フーリエ積分を適宜演算して断層画像を得る。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
(a)光源と、 (b)該光源の光路上に配置され、物体光と参照光に2分割する無偏光ビームスプリッターと、 (c)前記物体光を計測物体に走査して照射する手段と、 (d)前記光源と前記無偏光ビームスプリッター間の光路上に配置される45度直線偏光子と、 (e)前記無偏光ビームスプリッターと前記計測物体の光路上に配置される45度直線偏光子と、 (f)前記参照光の偏光を変化し回帰させる偏光制御生成手段と、 (g)前記計測物体の表面乃至深層からの反射物体光と前記回帰参照光とを合波する前記無偏光ビームスプリッターと、 (h)該無偏光ビームスプリッターで合波された合波光を偏光分離した回折分光にして検出する手段とを具備することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィー装置。
IPC (1件):
G01N 21/17
FI (1件):
G01N21/17 620
Fターム (14件):
2G059AA05 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059EE09 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ15 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM20
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (10件)
全件表示

前のページに戻る