特許
J-GLOBAL ID：200903053455194697

基板搬送装置及び基板搬送方法

発明者：
高山 幸生

高山 幸生 について

, 
佐藤 克博

佐藤 克博 について

, 
遠山 佳宏

遠山 佳宏 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-103939
公開番号（公開出願番号）：特開2006-286879
出願日： 2005年03月31日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：
【課題】 収容カセット内に収容された基板を搬出する際に、基板の損傷及び基板へのストレスの付与を防止し、搬送効率を向上させ得る基板搬送装置を提供する。【解決手段】 複数本の支持棹15a〜15bを備えた搬送フォーク11で基板Wを吸着して搬送する基板搬送装置であって、搬送フォーク11には、基板Wの上面を吸着する吸着パッド23を備えた支持棹15a〜15dと、各支持棹15a〜15dを基板Wの撓みに合わせて位置調節する調節手段16a,16b,18,19,20とを備えた。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
複数本の支持棹を備えた搬送フォークで基板を吸着して搬送する基板搬送装置であって、 前記搬送フォークには、 前記基板の上面を吸着する吸着パッドを備えた支持棹と、 前記各支持棹を基板の撓みに合わせて位置調節する調節手段と を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/677 ,  B25J 15/06 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/06
FI (4件)：
H01L21/68 B ,  B25J15/06 M ,  B25J15/08 Z ,  B65G49/06 A
Fターム (17件)：
3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007FS01 ,  3C007FU02 ,  3C007HS27 ,  3C007NS12 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031GA04 ,  5F031GA08 ,  5F031GA25 ,  5F031GA26 ,  5F031GA44 ,  5F031PA13 ,  5F031PA18
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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